[实用新型]沉积设备以及旋转装置

权利要求书

1.一种沉积设备，包括： 

反应腔，所述反应腔内具有用于带动衬底旋转的旋转台；用于带动所述旋转台转动的旋转装置，所述旋转装置包括， 

支撑座； 

筒状外壳，其一端连接所述支撑座上，另一端连接所述反应腔；以及 

用以带动所述旋转台转动的旋转支撑轴，其套设在所述筒状外壳内，并能够相对所述筒状外壳转动，所述旋转支撑轴的一端伸入到所述反应腔中，并与所述反应腔中的所述旋转台连接，其特征在于： 

所述筒状外壳内嵌设有旋转驱动机构，所述旋转驱动机构包括一对配合使用以驱动所述旋转支撑轴转动的定子和转子，所述定子安装于所述筒状外壳的内壁，所述转子安装于所述旋转支撑轴上。 

2.如权利要求1所述的沉积设备，其特征在于：所述旋转支撑轴通过至少两个径向轴承可转动固定在所述筒状外壳内，所述径向轴承的内壁连接所述旋转支撑轴，所述径向轴承的外壁连接所述筒状外壳。 

3.如权利要求2所述的沉积设备，其特征在于：所述旋转驱动机构的定子设置于两个所述径向轴承之间的所述筒状外壳上。 

4.如权利要求1所述的沉积设备，其特征在于：所述旋转支撑轴通过轴向轴承可转动固定在所述筒状外壳内，所述旋转支撑轴的另一端通过轴向轴承连接于所述支撑座上。 

5.如权利要求1所述的沉积设备，其特征在于：所述筒状外壳与所述支撑座之间为密封连接，且所述筒状外壳与所述反应腔之间为密封连接。 

6.如权利要求1或2或3或5所述的沉积设备，其特征在于：所述筒状 外壳与所述反应腔之间通过波纹管连接。 

7.如权利要求1或4或5所述的沉积设备，其特征在于：所述筒状外壳与所述支撑座之间通过波纹管连接，或/和所述筒状外壳与所述反应腔之间通过波纹管连接。 

8.如权利要求1所述的沉积设备，其特征在于：所述定子为定子线圈，所述转子为转子磁铁；或，所述定子为定子磁铁，所述转子为转子线圈。 

9.如权利要求1所述的沉积设备，其特征在于：所述旋转台为圆盘状，所述旋转支撑轴的中轴线与所述旋转台的圆形侧面的中垂线相重合。 

10.一种沉积设备的旋转装置，用于带动所述沉积设备的反应腔内的旋转台转动，所述旋转装置包括： 

支撑座； 

筒状外壳，其一端连接所述支撑座上，另一端连接所述反应腔；以及 

用以带动所述旋转台转动的旋转支撑轴，其套设在所述筒状外壳内，并能够相对所述筒状外壳转动，所述旋转支撑轴的一端伸入到所述反应腔中，并与所述反应腔中的所述旋转台连接，其特征在于： 

所述筒状外壳内嵌设有旋转驱动机构，所述旋转驱动机构包括一对配合使用以驱动所述旋转支撑轴转动的定子和转子，所述定子安装于所述筒状外壳的内壁，所述转子安装于所述旋转支撑轴上。