[发明专利]双臂真空机械手有效
| 申请号： | 201310632528.6 | 申请日： | 2013-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN103846905B | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 理查德·布兰克;马特·麦克莱伦 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | B25J9/00 | 分类号： | B25J9/00;H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所31263 | 代理人： | 李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了双臂真空机械手，具体提供了一种用于衬底处理系统的双臂机械手，其包括基部和具有伸展位置和缩回位置的第一臂。第一和第二臂中的每个包括第一臂部分，其具有能旋转地连接到所述基部的一端；第二臂部分，其具有能旋转地连接到所述第一臂部分的另一端的一端；端部执行器，其具有能旋转地连接到所述第二臂部分的另一端的一端和分别配置为支承所述第一和第二衬底的另一端。当第一和第二臂被配置为处于所述缩回位置时，第二臂部分和端部执行器之间的连接部分别位于所述第二和第一衬底的上方或下方，且所述第一衬底不位于所述第二衬底的上方或下方。 | ||
| 搜索关键词： | 双臂 真空 机械手 | ||
【主权项】：
一种用于衬底处理系统的双臂机械手，其包括：基部；第一臂，其具有伸展位置和缩回位置，并包括：第一臂部分，其具有能旋转地连接到所述基部的一端；第二臂部分，其具有能旋转地连接到所述第一臂部分的另一端的一端；以及端部执行器，其具有能旋转地连接到所述第二臂部分的另一端的一端和配置为支承第一衬底的另一端；以及第二臂，其具有伸展位置和缩回位置，并包括：第一臂部分，其具有能旋转地连接到所述基部的一端；第二臂部分，其具有能旋转地连接到所述第一臂部分的另一端的一端；以及端部执行器，其具有能旋转地连接到所述第二臂部分的另一端的一端和配置为支承第二衬底的另一端；其中，当所述第一臂和第二臂被布置在所述缩回位置时：所述第一臂的所述第二臂部分和所述第一臂的所述端部执行器之间的连接部位于所述第二衬底的正上方；所述第二臂的所述第二臂部分和所述第二臂的所述端部执行器之间的连接部位于所述第一衬底的正下方；以及所述第一衬底不位于所述第二衬底的上方。
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