[发明专利]半导体器件及其制造方法有效
申请号: | 201310594171.7 | 申请日: | 2013-11-21 |
公开(公告)号: | CN104425419B | 公开(公告)日: | 2017-11-03 |
发明(设计)人: | 陈玉芬;吴凯强;吕俊麟;郭宏瑞 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/60 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司11409 | 代理人: | 章社杲,孙征 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了半导体器件及其制造方法。在一些实施例中,半导体器件包括衬底以及设置在衬底上方的多个接触焊盘。接触焊盘被布置为球栅阵列(BGA),并且BGA包括多个拐角。金属坝被设置在BGA的多个拐角中的每一个拐角周围。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体器件,包括:衬底;多个接触焊盘,设置在所述衬底上方,所述接触焊盘被布置为球栅阵列BGA,所述BGA包括多个拐角;保护材料,均匀覆盖所述衬底的表面;以及金属坝,设置在所述BGA的多个拐角中的每一个拐角周围,所述金属坝改进所述保护材料的厚度均匀性。
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