[发明专利]半导体集成电路生产中晶圆制造调度方法及调度系统

摘要

本发明提出一种半导体集成电路生产中晶圆制造调度方法及调度系统，所述半导体集成电路生产中调度系统包括应用计算机软、硬件连接的产品信息单元、时刻表单元、产品监控单元、优先级计算单元、优先级标准单元、显示单元；所述调度方法按交货紧急程度计算出各个产品和批次优先级，更加清楚、简单地体现出不同产品和批次的紧急程度，根据优先级从高到低对生产线上有限的产能资源进行调度，达到对生产目标和生产效率的有效控制，提升生产效率和按时交货的成功率。

主权项

一种半导体集成电路生产中调度系统，其特征在于，包括与应用计算机软、硬件连接的产品信息单元、时刻表单元、产品监控单元、优先级计算单元、优先级标准单元及显示单元；所述产品信息单元用于存储不同产品对应的工艺流程的相关数据；所述的时刻表单元用于存储各个产品批次的投入生产线的日期和按时交货到期日；所述产品监控单元用于记录每个产品当前的经过的工艺步骤和状态；所述优先级计算单元根据产品信息单元、时刻表单元和产品监控单元的数据计算出各个产品的优先级系数，所述优先级系数＝需求传输系数/标准传输系数；根据产品信息单元的数据计算出所述标准传输系数，为产品需要经过的站点总数/(生产周期*光刻层数)；根据产品信息单元和产品监控单元的数据计算所述需求传输系数，为产品剩余的站点数/离到期日剩余的天数；所述优先级标准单元用于记录和设定优先级系数对应的优先级；所述显示单元根据计算出的优先级系数在优先级标准单元中找到对应的优先级以约定好的形式显示出来。