[发明专利]一种化学气相沉积制备石墨烯的方法无效
| 申请号： | 201310299309.0 | 申请日： | 2013-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN103409728A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 林耀朋;张旭;吴军 | 申请（专利权）人： | 苏州艾特斯环保材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 李纪昌 |
| 地址： | 215211 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种化学气相沉积制备石墨烯的方法，包括以下步骤：将衬底钴镍合金用质量分数为75%的乙醇溶液清洗三次，在50℃～80℃下烘干；将钴镍合金衬底放入石英炉中，加热温度至880℃～890℃，通氦气，氦气流速为50sccm；保持温度在880℃～890℃下向石英炉中均匀加入乙苯；将石英炉降温到室温，取出样品；将样品进行超声处理，超声处理功率为800w，时间为60～90min，获得石墨烯。制备得到的石墨烯具有较大的载流子迁移率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 沉积 制备 石墨 方法 | ||
【主权项】：
一种化学气相沉积制备石墨烯的方法，其特征在于包括以下步骤：（1）将衬底钴镍合金用质量分数为75%的乙醇溶液清洗三次，在50℃～80℃下烘干；（2）将钴镍合金衬底放入石英炉中，加热温度至880℃～890℃，通氦气，氦气流速为50sccm；（3）保持温度在880℃～890℃下向石英炉中均匀加入乙苯；（4）将石英炉降温到室温，取出样品；（5）将样品进行超声处理，超声处理功率为800w，时间为60～90min，获得石墨烯。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
