[发明专利]一种化学气相沉积制备石墨烯的方法

权利要求书

1.一种化学气相沉积制备石墨烯的方法，其特征在于包括以下步骤：

（1）将衬底钴镍合金用质量分数为75%的乙醇溶液清洗三次，在50℃～80℃下烘干；

（2）将钴镍合金衬底放入石英炉中，加热温度至880℃～890℃，通氦气，氦气流速为50sccm；

（3）保持温度在880℃～890℃下向石英炉中均匀加入乙苯；

（4）将石英炉降温到室温，取出样品；

（5）将样品进行超声处理，超声处理功率为800w，时间为60～90min，获得石墨烯。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积制备石墨烯的方法，其特征在于烘干温度为60℃。

3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积制备石墨烯的方法，其特征在于石英炉加热至温度为885℃。

4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积制备石墨烯的方法，其特征在于石英炉加热过程中升温速率为25℃/min。