[发明专利]整合结构无效
| 申请号： | 201310150648.2 | 申请日： | 2013-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN104124226A | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 黄昭元;何岳风;杨名声;陈辉煌 | 申请（专利权）人： | 艾芬维顾问股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/528 | 分类号： | H01L23/528;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 史霞 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种整合结构，包含:衬底，具有第一介电层与第二介电盖层依序设置于衬底上;金属栅极晶体管，具有设置于该衬底上的高介电常数栅极介电层、嵌于该第一介电层之内的栅电极以及位于该衬底内的源极/漏极;第一金属接触件，贯穿该第一介电层且与该源极/漏极直接接触;及硅穿孔，贯穿该第二介电盖层、该第一介电层与该衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 整合 结构 | ||
【主权项】：
一种整合结构，其特征在于，包含:衬底，具有第一介电层与第二介电盖层依序设置于衬底上;金属栅极晶体管，具有设置于该衬底上的高介电常数栅极介电层、嵌于该第一介电层之内的金属电极以及位于该衬底内的源极/漏极;第一金属接触件，贯穿该第一介电层且与该源极/漏极直接接触;及硅穿孔，贯穿该第二介电盖层、该第一介电层与该衬底。
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