[发明专利]布线数据的生成装置、生成方法及描画装置

摘要

提供抑制布线遗漏产生和处理时间来生成布线数据的生成装置、生成方法及描画装置。该装置具有：误差获取部，获取在基板上的半导体芯片相对于基准位置及基准姿势的配置误差；区域信息获取部，获取表示在基板上的包围半导体芯片且比该半导体芯片大的包围区域的包围区域信息；布线数据生成部，基于针对无配置误差的基准芯片设定的无不良布线的基准布线图案中的基准扇出布线，生成表示连接布线图案中的与包围区域对应的部分的包围区域布线图案的包围区域布线数据。布线数据生成部以使与基准芯片对应的基准扇出布线的位置及姿势和与基板上的半导体芯片对应的该半导体芯片的扇出布线的位置及姿势相同，而不受配置误差影响的方式，生成包围区域布线数据。

主权项

一种布线数据的生成装置，其生成表示连接布线图案的布线数据，所述连接布线图案用于基于规定的连接关系，来对配置在基板上的半导体芯片的各电极和针对所述基板设置的作为连接对象的各电极进行电连接，其特征在于，具有：误差获取部，其获取配置误差，所述配置误差是指，在所述基板上，所述半导体芯片相对于规定的基准位置及规定的基准姿势的误差，区域信息获取部，其获取包围区域信息，所述包围区域信息表示在所述基板上包围所述半导体芯片并且面积比该半导体芯片大的包围区域，布线数据生成部，其基于基准布线图案中的基准扇出布线来生成包围区域布线数据，所述基准布线图案表示针对基准芯片设定的没有不良布线的所述连接布线图案，所述基准芯片是指没有所述配置误差的所述半导体芯片，所述基准扇出布线是指从所述基准芯片的各电极到所述基准芯片的外周缘为止的布线图案，所述包围区域布线数据是指表示所述连接布线图案中的与所述包围区域对应的部分的包围区域布线图案的数据；所述布线数据生成部，以特定方式来生成所述包围区域布线数据，所述特定方式是指，使与所述基准芯片对应的所述基准扇出布线的位置及姿势，和与所述基板上的所述半导体芯片对应的该半导体芯片的扇出布线的位置及姿势相同，而不受所述配置误差影响的方式。