[发明专利]LED显示屏及其制作方法有效
| 申请号： | 201310103196.2 | 申请日： | 2013-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN103219286A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 毕少强 | 申请（专利权）人： | 映瑞光电科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/82 | 分类号： | H01L21/82;H01L21/84;H01L21/50;H01L33/38 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭露了一种LED显示屏及其制造方法，所述LED显示屏的像素模块为单个LED芯片，每个像素之间的间隙可以得到有效的控制，从而提高了LED显示屏的清晰度。同时，将传统的倒装芯片工艺优化为在生成电极群之后继续生成电极层和绝缘层等结构，使得芯片的厚度得到有效的控制，并且将传统的设置一对电极分隔为分布在管芯对应区域的第一电极群和第二电极群，这样的结构能获得充分的电流扩展使电流均匀分布，使器件得到良好的发光效率和均匀的出光率，并且能满足芯片尺寸更进一步增加的需求。 | ||
| 搜索关键词： | led 显示屏 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种LED显示屏的制造方法，包括：提供衬底，在衬底上形成管芯，在所述管芯上形成第一隔离沟道隔离出像素单元；在管芯表面形成第一绝缘层，并平坦化所述第一绝缘层；在第一绝缘层对应区域开出第一孔槽群；在第一绝缘层上形成第一金属层，并平坦化所述第一金属层，第一孔槽群内的金属组成第一电极群，第一绝缘层表面的金属层组成第一电极层；在第一电极层对应区域开出绝缘孔槽群；在第一电极层上形成第二绝缘层，并平坦化所述第二绝缘层；在第二绝缘层对应区域开出第二孔槽群；在第二绝缘层上形成第二金属层，并平坦化所述第二金属层，第二孔槽群内的金属组成第二电极群，第二绝缘层表面的金属层组成第二电极层，在第二电极层中按像素单元形成第二隔离沟道，在第二隔离沟道中填充有绝缘物质；在第二电极层表面形成薄膜晶体管层；在薄膜晶体管层上贴装基板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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