[发明专利]一种物体探测系统有效
| 申请号： | 201310060782.3 | 申请日： | 2013-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN103196915A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 何继中 | 申请（专利权）人： | 无锡微焦科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人： | 王爱伟 |
| 地址： | 214125 江苏省无锡市滨湖区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种物体探测系统，其包括载物台、驱动所述载物台旋转的驱动装置、用于定位所述载物台的位置的光学编码器、用于对于载物台上的目标物体进行探测的探测器以及控制模块。在扫描模式时，所述控制模块根据来自光学编码器的第一分辨率刻度数据去控制所述驱动装置以第一预定转速驱动所述载物台旋转以进行缺陷扫描。在检测模式时，所述控制模块根据来自光学编码器的第二分辨率刻度数据去控制所述驱动装置以第二预定转速驱动所述载物台旋转以进行缺陷检测。一方面，利用低分辨率刻度数据进行高速缺陷扫描，同时结合时间偏差及转速来精确定位缺陷位置，另一方面，利用高分辨率刻度数据进行低速缺陷定位，从而兼顾了快速扫描和精确的缺陷检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物体 探测 系统 | ||
【主权项】：
一种物体探测系统，其包括载物台、驱动所述载物台旋转的驱动装置、用于定位所述载物台的位置的光学编码器、用于对于载物台上的目标物体进行探测的探测器以及控制模块，其特征在于，所述控制模块具有扫描模式和检测模式，在扫描模式时，所述光学编码器输出第一分辨率刻度数据，所述控制模块根据来自所述光学编码器的第一分辨率刻度数据去控制所述驱动装置以第一预定转速驱动所述载物台旋转以对目标物体进行扫描，在检测模式时，所述光学编码器输出第二分辨率刻度数据，所述控制模块根据来自所述光学编码器的第二分辨率刻度数据去控制所述驱动装置以第二预定转速驱动所述载物台旋转以对目标物体的目标位置进行检测，其中第一分辨率刻度数据的分辨率较第二分辨率刻度数据的分表率低，第二预定转速小于第一预定转速。
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