[发明专利]一种物体探测系统

说明书

技术领域

本发明涉及物件检测领域，尤其涉及一种物体探测系统。

背景技术

现有的物体缺陷探测系统一般包括载物台、驱动所述载物台旋转的驱动装置、用于定位所述载物台的位置的光学编码器、用于对于载物台上的目标物体进行探测的探测器以及控制模块。

所述光学编码器对所述载物台进行定位并输出一定分辨率的刻度数据，分辨率越高，定位的精度就越高，分辨率越低，定位的精度就越低。所述控制模块根据来自光学编码器的刻度数据信息去控制所述驱动装置以预定转速驱动所述载物台旋转，所述探测器对目标物体的对应位置进行探测得到探测数据信息，所述控制模块根据所述刻度数据信息和所述探测数据信息确定所述目标物体上的缺陷位置。所述控制模块在得知所述目标物体上的缺陷位置后，根据所述刻度数据信息定位到所述目标物体上的缺陷位置，利用所述探测器对准所述目标物体上的缺陷位置进行探测得到缺陷数据信息。

通常，为了对目标物体实现缺陷检测，需要先进行缺陷扫描。在进行缺陷扫描时，所述载物台的转速一般比较高，比如250转/秒。而为了可以定位到更为精细的位置处的缺陷，所述光学编码器输出的刻度数据的分辨率越高越好。然而，刻度越精细，转速越高，那么所述光学编码器得到的数据量就越大，所述控制模块处理起来就越困难。而受限于所述控制模块的处理能力，所述刻度的精细程度和转速都受到一定程度的限制。

因此，有必要提出改进的方案来克服上述问题。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明提出一种物体探测系统，其既可以快速的进行物体的扫描，还可以对缺陷进行精确的定位检测。

根据本发明的一个方面，本发明提出一种物体探测系统，其包括载物台、驱动所述载物台旋转的驱动装置、用于定位所述载物台的位置的光学编码器、用于对于载物台上的目标物体进行探测的探测器以及控制模块。所述控制模块具有扫描模式和检测模式，在扫描模式时，所述光学编码器输出第一分辨率刻度数据，所述控制模块根据来自所述光学编码器的第一分辨率刻度数据去控制所述驱动装置以第一预定转速驱动所述载物台旋转以对目标物体进行扫描，在检测模式时，所述光学编码器输出第二分辨率刻度数据，所述控制模块根据来自所述光学编码器的第二分辨率刻度数据去控制所述驱动装置以第二预定转速驱动所述载物台旋转以对目标物体的目标位置进行检测，其中第一分辨率刻度数据的分辨率较第二分辨率刻度数据的分表率低，第二预定转速小于第一预定转速。

在一个进一步的实施例中，在扫描模式时，所述探测器对目标物体的对应位置进行探测得到探测数据，所述控制模块根据所述第一分辨率刻度数据和所述探测数据确定所述目标物体上的目标位置，所述控制模块在得知所述目标物体上的目标位置后切换至检测模式，在检测模式时，所述控制模块控制所述驱动装置以第二预定转速驱动所述载物台旋转并最后停止于所述目标物体上的目标位置，此时所述探测器对准所述目标物体上的目标位置进行探测得到缺陷数据信息。

在一个更进一步的实施例中，所述光学编码器包括有第一光学编码单元和第二光学编码单元，第一光学编码单元支持第一分辨率刻度数据的输出，第二光学编码单元支持第二分辨率刻度数据的输出，在扫描模式时，第一光学编码单元工作，并输出第一分辨率刻度数据给所述控制模块，在检测模式时，第二光学编码单元工作，并输出第二分辨率刻度数据给所述控制模块。