[发明专利]一种物体探测系统

权利要求书

1.一种物体探测系统，其包括载物台、驱动所述载物台旋转的驱动装置、用于定位所述载物台的位置的光学编码器、用于对于载物台上的目标物体进行探测的探测器以及控制模块，

其特征在于，所述控制模块具有扫描模式和检测模式，

在扫描模式时，所述光学编码器输出第一分辨率刻度数据，所述控制模块根据来自所述光学编码器的第一分辨率刻度数据去控制所述驱动装置以第一预定转速驱动所述载物台旋转以对目标物体进行扫描，

在检测模式时，所述光学编码器输出第二分辨率刻度数据，所述控制模块根据来自所述光学编码器的第二分辨率刻度数据去控制所述驱动装置以第二预定转速驱动所述载物台旋转以对目标物体的目标位置进行检测，

其中第一分辨率刻度数据的分辨率较第二分辨率刻度数据的分表率低，第二预定转速小于第一预定转速。

2.根据权利要求1所述的物体探测系统，其特征在于，在扫描模式时，所述探测器对目标物体的对应位置进行探测得到探测数据，所述控制模块根据所述第一分辨率刻度数据和所述探测数据确定所述目标物体上的目标位置，

所述控制模块在得知所述目标物体上的目标位置后切换至检测模式，

在检测模式时，所述控制模块控制所述驱动装置以第二预定转速驱动所述载物台旋转并最后停止于所述目标物体上的目标位置，此时所述探测器对准所述目标物体上的目标位置进行探测得到缺陷数据信息。

3.根据权利要求1或2所述的物体探测系统，其特征在于，所述光学编码器包括有第一光学编码单元和第二光学编码单元，第一光学编码单元支持第一分辨率刻度数据的输出，第二光学编码单元支持第二分辨率刻度数据的输出，

在扫描模式时，第一光学编码单元工作，并输出第一分辨率刻度数据给所述控制模块，在检测模式时，第二光学编码单元工作，并输出第二分辨率刻度数据给所述控制模块。

4.根据权利要求3所述的物体探测系统，其特征在于，每个光学编码单元包括光发射器、码盘、光探测器和输出电路，

所述码盘包括多个间隔透明区域，

所述光发射器向所述码盘发射光，

所述光探测器探测透过所述码盘的光得到光电感应信号，

所述输出电路基于所述光探测器探测得到的光电感应信号处理得到刻度数据。

5.根据权利要求1或2所述的物体探测系统，其特征在于，所述光学编码器包括光发射器、码盘、光探测器和输出电路，

所述码盘包括多个间隔透明区域，

所述光发射器向所述码盘发射光，

所述光探测器探测透过所述码盘的光得到光电感应信号，

所述输出电路基于所述光探测器探测得到的光电感应信号处理得到第一分辨率刻度数据或第二分辨率刻度数据，

在扫描模式时，所述输出电路输出第一分辨率刻度数据给所述控制模块，在检测模式时，所述输出电路输出第二分辨率刻度数据给所述控制模块。

6.根据权利要求5所述的物体探测系统，其特征在于，所述输出电路包括信号产生电路、第一输出单元、模数转换电路和第二输出单元，

所述信号产生电路根据所述光探测器得到的光电感应信号得到与所述码盘的位置相关的模拟的余弦通道探测信号x(t)和模拟的正弦通道探测信号y(t)，

在扫描模式时，第一输出单元基于模拟的余弦通道探测信号x(t)和模拟的正弦通道探测信号y(t)输出第一分辨率刻度数据，

在检测模式时，所述模数转换电路将所述模拟的余弦通道探测信号x(t)和正弦通道探测信号y(t)转换为数字的余弦通道探测信号和正弦通道探测信号，第二输出单元根据得到的数字的余弦通道探测数据和正弦通道探测数据进行运算得到第二分辨率刻度数据。

7.根据权利要求5所述的物体探测系统，其特征在于，在扫描模式下，根据探测数据中的目标脉冲与第一分辨率刻度数据中的相邻刻度相差的时间及驱动装置的转速来确定所述目标物体上的目标位置。

8.根据权利要求1或2所述的物体探测系统，其特征在于，所述光学编码器包括第一分辨率的码盘和第二分辨率的码盘，

在扫描模式时，所述光学编码器采用第一分辨率的码盘，此时所述光学编码器输出第一分辨率刻度数据，

在检测模式时，所述光学编码器采用第二分辨率的码盘，此时所述光学编码器输出第二分辨率刻度数据。