[发明专利]剥离用组合物以及剥离用组合物的制造方法有效
| 申请号： | 201310046729.8 | 申请日： | 2013-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN103242981B | 公开（公告）日： | 2018-01-02 |
| 发明（设计）人： | 吉冈孝广;今井洋文;久保安通史 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | C11D7/24 | 分类号： | C11D7/24;H01L21/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 龚敏 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供使在剥离基板表面的支撑板后液痕残渣的产生得以减少的剥离用组合物。本发明所述的剥离用组合物含有用于通过溶解使支撑板贴附于基板的粘接剂而将该基板从该支撑板剥离的溶剂，其中，具有比该溶剂沸点高25℃以上的沸点的高沸点杂质的含量为5质量％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离 组合 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种剥离用组合物，其特征在于，其含有用于通过溶解使支撑板贴附于基板的粘接剂而将该基板从该支撑板剥离的溶剂，其中，具有比所述溶剂的沸点高25℃以上的沸点的高沸点杂质的含量为5重量％以下，所述溶剂为环状的烃、或者为环状的烃与萜烯系溶剂的组合，所述环状的烃为选自四氢萘、十氢萘、环己烷、环辛烷及二甲苯中的至少一种。
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