[发明专利]掺Mn的钛酸铋纳-钛酸铋钾-钛酸锶三元系压电薄膜材料及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201310023716.9 申请日: 2013-01-22
公开(公告)号: CN103936413A 公开(公告)日: 2014-07-23
发明(设计)人: 翟继卫;李伟;边延龙 申请(专利权)人: 同济大学
主分类号: C04B35/475 分类号: C04B35/475;C04B35/622
代理公司: 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 代理人: 林君如
地址: 200092 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种掺Mn的钛酸铋纳-钛酸铋钾-钛酸锶三元系压电薄膜材料及其制备方法,按0.95(0.8Bi1/2Na1/2TiO3-0.2Bi1/2K1/2)TiO3-0.05SrTiO3(BNT-BKT-ST)+xmol%Mn,其中x=0~1.0%,以硝酸铋、乙酸钠、乙酸钾、乙酸锶、乙酸锰、异丙醇钛、乙酸、乙二醇乙醚,用乙酰丙酮、氨水为原料,采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上旋转涂覆制备单一钙钛矿结构的钛酸铋纳-钛酸铋钾-钛酸锶三元系压电薄膜,薄膜的压电系数可达93pm/V。本发明通过Mn掺杂降低钛酸铋纳-钛酸铋钾-钛酸锶三元系压电薄膜漏电流,提高耐压性,达到传统含铅压电薄膜的性能,在微执行器和驱动器中有较好的应用前景。
搜索关键词: mn 钛酸铋纳 钛酸铋钾 钛酸锶 三元 压电 薄膜 材料 及其 制备 方法
【主权项】:
一种掺Mn的钛酸铋纳‑钛酸铋钾‑钛酸锶三元系压电薄膜材料,其特征在于,该薄膜材料的组分为:0.95(0.8Bi1/2Na1/2TiO3‑0.2Bi1/2K1/2)TiO3‑0.05SrTiO3+x mol%Mn,其中0<x≤1.0。
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