[发明专利]负型感光性硅氧烷组合物有效
| 申请号： | 201280058463.2 | 申请日： | 2012-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN103959168B | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 横山大志;高桥惠;福家崇司;田代裕治;田中泰明;吉田尚史;野中敏章 | 申请（专利权）人： | 默克专利有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙)11216 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种感光性硅氧烷组合物，其为高分辨率、高耐热性、高透明性，不需提高交联剂和/或硅氧烷化合物的分子量即可抑制在热固化中容易产生的热塌陷，具有高感光度、高残膜率的特性。一种负型感光性聚硅氧烷组合物，其特征在于，其包含(I)聚硅氧烷混合物、(II)固化助剂以及(III)溶剂，所述(I)聚硅氧烷混合物包含(Ia)预烘烤后的膜可溶于5重量％四甲基氢氧化铵水溶液并且其溶解速度为3,000/秒以下的聚硅氧烷、以及(Ib)预烘烤后的膜对2.38重量％四甲基氢氧化铵水溶液的溶解速度为150/秒以上的聚硅氧烷。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 硅氧烷 组合 | ||
【主权项】：
一种负型感光性聚硅氧烷组合物，其特征在于，其包含(I)聚硅氧烷混合物、(II)在热或者辐射线的作用下可产生酸或者碱的固化助剂以及(III)溶剂，所述(I)聚硅氧烷混合物包含(Ia)聚硅氧烷以及(Ib)聚硅氧烷，所述(Ia)聚硅氧烷是在碱性催化剂的存在下使从由三烷氧基硅烷以及四烷氧基硅烷组成的组中选出的硅烷化合物(ia)进行水解并且进行缩合而获得的聚硅氧烷，并且预烘烤后的膜可溶于5重量％四甲基氢氧化铵水溶液，其溶解速度为/秒以下，所述(Ib)聚硅氧烷是在酸性催化剂或者碱性催化剂的存在下使从由三烷氧基硅烷以及四烷氧基硅烷组成的组中选出的硅烷化合物(ib)进行水解、缩合而获得的聚硅氧烷，并且预烘烤后的膜相对于2.38重量％四甲基氢氧化铵水溶液的溶解速度为/秒以上。
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