[发明专利]负型感光性硅氧烷组合物

权利要求书

1.一种负型感光性聚硅氧烷组合物，其特征在于，其包含(I)聚硅氧烷混合物、(II)在热或者辐射线的作用下可产生酸或者碱的固化助剂以及(III)溶剂，

所述(I)聚硅氧烷混合物包含(Ia)聚硅氧烷以及(Ib)聚硅氧烷，

所述(Ia)聚硅氧烷是在碱性催化剂的存在下使从由三烷氧基硅烷以及四烷氧基硅烷组成的组中选出的硅烷化合物(ia)进行水解并且进行缩合而获得的聚硅氧烷，并且预烘烤后的膜可溶于5重量％四甲基氢氧化铵水溶液，其溶解速度为/秒以下，

所述(Ib)聚硅氧烷是在酸性催化剂或者碱性催化剂的存在下使从由三烷氧基硅烷以及四烷氧基硅烷组成的组中选出的硅烷化合物(ib)进行水解、缩合而获得的聚硅氧烷，并且预烘烤后的膜相对于2.38重量％四甲基氢氧化铵水溶液的溶解速度为/秒以上。

2.根据权利要求1所述的负型感光性聚硅氧烷组合物，其中，所述硅烷化合物(ia)以及所述硅烷化合物(ib)之中的至少一种是由下述通式(i)表示的物质，

R¹_nSi(OR²)_4-n (i)

式中，R¹表示任意的亚甲基都可被氧置换的碳原子数1～20的直链状、支链状或环状烷基、或者碳原子数为6～20并且任意的氢都可被氟取代的芳基，n为0或1，R²表示碳原子数1～5的烷基。

3.根据权利要求1或2所述的负型感光性硅氧烷组合物，其中，所述聚硅氧烷混合物(I)中所含的聚硅氧烷(Ia)/聚硅氧烷(Ib)的重量比为1/99～80/20。

4.根据权利要求1或2所述的负型感光性硅氧烷组合物，其中，所述聚硅氧烷混合物(I)的预烘烤后的膜相对于2.38重量％四甲基氢氧化铵水溶液的溶解速度为/秒。

5.根据权利要求1或2所述的负型感光性硅氧烷组合物，其中，以所述聚硅氧烷混合物(I)中所含的单体单元的总计为基准，包含0.1～40摩尔％的源自四烷氧基硅烷的单体单元。

6.根据权利要求1或2所述的负型感光性硅氧烷组合物，其中，相对于聚硅氧烷混合物(I)100重量份，包含0.001～10重量份的固化助剂。

7.根据权利要求1或2所述的负型感光性硅氧烷组合物，其中，所述固化助剂是由下述通式(A)表示的物质，

R⁺X^-(A)

式中，R⁺是从由用氢、碳原子或者其它杂原子修饰了的烷基、芳基、烯基、酰基以及烷氧基组成的组中选出的有机离子，X^-表示下述通式中任一种平衡离子，

SbY₆^-

AsY₆^-

R^a_pPY_6-p^-

R^a_qBY_4-q^-

R^a_qGaY_4-q^-

R^aSO₃^-

(R^aSO₂)₃C^-

(R^aSO₂)₂N-

R^bCOO-

SCN-

式中，Y是卤素原子，R^a是由从氟、硝基以及氰基中选出的取代基取代了的碳原子数1～20的烷基或者碳原子数6～20的芳基，R^b是氢或者碳原子数1～8的烷基，p是0～6的数值，q是0～4的数值。

8.根据权利要求1或2所述的负型感光性硅氧烷组合物，其进一步包含从由密接增强剂、阻聚剂、消泡剂、表面活性剂、光敏剂以及稳定剂组成的组中选出的添加剂。