[发明专利]用于高性能射频应用的传输线有效
| 申请号： | 201280053027.6 | 申请日： | 2012-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN103907194B | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | S.L.佩蒂-威克斯;G.张;H.B.莫迪 | 申请（专利权）人： | 天工方案公司 |
| 主分类号： | H01L23/66 | 分类号： | H01L23/66;H01L21/60;H05K3/24;H05K1/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 胡琪 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种用于高性能射频(RF)应用的传输线。一种这样的传输线可以包括配置用于接收RF信号的接合层、阻挡层、扩散阻挡层和紧邻扩散阻挡层的导电层。所述扩散阻挡层可以具有允许所接收的RF信号穿透扩散阻挡层到达导电层的厚度。在某些实施例中，扩散阻挡层可以是镍。在这些实施例的一些中，传输线可以包括金接合层、钯阻挡层和镍扩散阻挡层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 性能 射频 应用 传输线 | ||
【主权项】：
一种射频模块，包括：基板，包含传输线，所述传输线具有接合层、阻挡层、扩散阻挡层和导电层，所述接合层具有与引线接合的接合表面，所述阻挡层和扩散阻挡层配置用于防止污染物进入所述接合层，所述扩散阻挡层为镍，并且该扩散阻挡层的厚度小于0.35μm，以便允许所有在接合表面接收到的频率为至少1.9GHz的射频信号在导电层中传播；在耦合到所述基板的管芯上实现的第一射频部件，该第一射频部件配置为将具有至少1.9GHz的频率的射频信号提供到所述引线，该引线从所述管芯延伸到所述传输线的接合表面；以及耦合到所述基板的第二射频部件，该第二射频部件配置为经由所述传输线从第一射频部件接收具有至少1.9GHz的频率的射频信号。
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