[发明专利]固体摄像器件

摘要

本发明提供一种多个像素在像素区域排列成2维状的固体摄像器件。该像素形成于岛状半导体中。在该岛状半导体之中，自下方起，在信号线N+区域(2)、P区域(3)、该P区域(3)的上部的侧面，从岛状半导体的内侧形成有N区域(4)、P+区域(5)。在P区域(3)上，形成有P+区域(6)。通过将P+区域(5)与P+区域(6)设为低电平电压、将信号线N+区域(2)设为较低电平电压更大的高电平电压，可使储存于N区域(4)的信号电荷经由P区域(3)被去除在信号线N+区域(2)。

主权项

一种多个像素在像素区域排列成2维状的固体摄像器件，其特征在于，具有：形成在衬底上的第1半导体区域；形成在前述第1半导体区域上的第2半导体区域；形成在前述第2半导体区域的上部侧面的第3半导体区域；形成在不与前述第2半导体区域的侧面相对向的前述第3半导体区域的侧面且为与前述第3半导体区域相反导电性的第4半导体区域；及在前述第2半导体区域上的为与前述3半导体区域相反导电性的第5半导体区域；前述第2半导体区域包括与前述第3半导体区域相反导电性的半导体或本质型半导体；至少前述第2半导体区域的上部、前述第3半导体区域、前述第4半导体区域及前述第5半导体区域形成岛状半导体；通过前述第2半导体区域与前述第3半导体区域而形成光电二极管；执行将因为射入于前述光电二极管区域的电磁能量波所产生的信号电荷储存于前述第3半导体区域的信号电荷储存动作；形成以前述第1半导体区域及前述第5半导体区域中的一方为漏极并且以另一方为源极且以储存前述信号电荷的前述第3半导体区域为栅极的结型场效应晶体管；执行依据储存于前述第3半导体区域的信号电荷量读取流通于前述结型场效应晶体管的前述源极及漏极间的电流作为信号输出的像素信号读取动作；执行信号电荷去除动作，其中，将前述第4半导体区域及前述第5半导体区域设为低电平电压，且将前述第1半导体区域设为较前述低电平电压更高的高电平电压，藉此在存在于前述第1半导体区域及前述第3半导体区域之间的前述第2半导体区域中将势垒消除，且经由该无势垒的第2半导体区域将储存于前述第3半导体区域的信号电荷从前述第3半导体区域予以去除至前述第1半导体区域。