[发明专利]纳米压印用固化性组合物、纳米压印成形体以及图案形成方法

摘要

本发明提供一种用于按压纳米压印用模具来转印微细凹凸图案的“纳米压印”的、含有复合树脂的纳米压印用固化性组合物，所述复合树脂具有硅烷醇基和/或水解性甲硅烷基及聚合性双键的聚硅氧烷链段、和该聚硅氧烷以外的聚合物链段。另外，提供使用该纳米压印组合物的纳米压印成形体、抗蚀膜、树脂模具和图案形成方法。

主权项

1.一种纳米压印用固化性组合物，其特征在于，其含有复合树脂(A)和光聚合引发剂，所述复合树脂(A)是由具有通式(1)和/或通式(2)所示的结构单元及硅烷醇基和/或水解性甲硅烷基的聚硅氧烷链段(a1)与乙烯基系聚合物链段(a2)通过通式(3)所示的键连接而成的，[化学式1][化学式2]通式(1)和(2)中，R¹、R²和R³分别独立地表示选自由-R⁴-CH=CH₂、-R⁴-C(CH₃)=CH₂、-R⁴-O-CO-C(CH₃)=CH₂和-R⁴-O-CO-CH=CH₂组成的组中的具有一个聚合性双键的基团、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为3～8的环烷基、芳基或碳原子数为7～12的芳烷基，R¹、R²和R³中的至少一者为所述具有聚合性双键的基团，其中，R⁴表示单键或碳原子数为1～6的亚烷基，[化学式3]通式(3)中，碳原子构成所述乙烯基系聚合物链段(a2)的一部分，仅与氧原子键合的硅原子构成所述聚硅氧烷链段(a1)的一部分。