专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]固化性组合物、抗蚀材料及抗蚀膜-CN201580056812.0有效
  • 伊部武史;矢木直人;谷本尚志;矢田真 - DIC株式会社
  • 2015-10-06 - 2019-11-05 - C08F30/08
  • 本发明的课题在于提供固化后的清洗容易、耐干法蚀刻性高、能够制成精密图案的转印精度优异的抗蚀剂的固化性组合物,提供含有该固化性组合物的抗蚀膜及层叠体、以及使用该抗蚀膜的图案形成方法。本发明通过提供如下的固化性组合物,从而解决了上述课题,所述固化性组合物含有多官能聚合性单体(A),且不挥发组分量中的硅原子的量为10wt%以上,所述多官能聚合性单体(A)具备两个以上具有聚合性基团的基团,并且具备至少一个所述式(1)所示的具有聚合性基团的基团Q。
  • 固化组合材料抗蚀膜
  • [发明专利]压印用固化性组合物-CN201480032326.0有效
  • 山口纯司;谷本尚志;伊部武史;矢田真;矢木直人 - DIC株式会社
  • 2014-05-23 - 2017-09-01 - H01L21/027
  • 本发明提供一种固化性组合物,其特征在于,其为含有聚合性化合物的压印用固化性组合物,(a)上述聚合性化合物的聚合性基团浓度为4.3~7.5mmol/g,(b)相对于全部聚合性化合物以40~95质量%的范围含有大西参数为3.5以下、环参数为0.35以上的聚合性化合物X,(c)进而,相对于全部聚合性化合物以5~20质量%的范围含有具有3个以上聚合性基团的聚合性化合物C,(d)组合物的25℃下的粘度在不含溶剂的状态下为3~8000mPa·s的范围。
  • 压印固化组合

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