[发明专利]氮化镓类半导体发光元件、光源和凹凸构造形成方法无效
申请号: | 201280003354.0 | 申请日: | 2012-05-11 |
公开(公告)号: | CN103155182A | 公开(公告)日: | 2013-06-12 |
发明(设计)人: | 藤金正树;井上彰;横川俊哉 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | H01L33/32 | 分类号: | H01L33/32;H01L33/22 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本,*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种氮化镓类半导体发光元件,在进行对具有除c面外的结晶面的氮化物半导体发光元件的光提取面(50)的表面的润湿性进行控制的表面改性之后,在粒子层对表面进行覆盖。其后,通过进行蚀刻,将粗糙度曲线要素的平均长度(RSm)为150nm以上且800nm以下的凹凸构造(60)形成在光提取面(50)。 | ||
搜索关键词: | 氮化 半导体 发光 元件 光源 凹凸 构造 形成 方法 | ||
【主权项】:
一种氮化镓类半导体发光元件,其特征在于,具备:半导体层叠构造,其由氮化镓类半导体形成,包含生成偏振光的活性层;和与所述半导体层叠构造接触,将载流子注入所述活性层的电极构造,其中,所述半导体层叠构造在除c面外的结晶面的至少一部分具备形成有凹凸构造的光提取面,所述凹凸构造配置于所述结晶面上,具有相对于所述光提取面的法线方向非轴对称的形状的凸部,所述凹凸构造中的粗糙度曲线要素的平均长度(RSm)为150nm以上800nm以下。
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