[实用新型]微细间距凸块结构有效
申请号: | 201220058795.8 | 申请日: | 2012-02-22 |
公开(公告)号: | CN202651096U | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 施政宏;谢永伟;林淑真;林政帆;戴华安 | 申请(专利权)人: | 颀邦科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 中国台湾新竹科学*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型是有关于一种微细间距凸块结构,其至少包含:一硅基板、多个凸块下金属层、多个铜凸块、多个凸块保护层及多个可润湿层,该硅基板具有多个焊垫,该些凸块下金属层形成于该些焊垫上,各该凸块下金属层具有一凸块承载部及一延伸部,该些铜凸块形成于该些凸块下金属层上,且各该铜凸块具有一第一顶面及一环壁,该些凸块保护层形成于该些凸块下金属层的该些延伸部、各该铜凸块的该第一顶面及该环壁上,各该凸块保护层具有一凸块覆盖部及一金属层覆盖部,各该凸块覆盖部包覆各该铜凸块的该第一顶面及该环壁,且该凸块覆盖部具有一第二顶面,各该金属层覆盖部覆盖各该延伸部,该些可润湿层形成于该些凸块覆盖部的该些第二顶面上。 | ||
搜索关键词: | 微细 间距 结构 | ||
【主权项】:
一种微细间距凸块结构,其特征在于其包含:一硅基板,其具有一表面、多个设置于该表面的焊垫及一设置于该表面的保护层,该保护层具有多个开口,且该些开口显露该些焊垫;多个凸块下金属层,其形成于该些焊垫上,各该凸块下金属层具有一凸块承载部及一延伸部;多个铜凸块,其形成于该些凸块下金属层上,且各该铜凸块具有一第一顶面及一环壁,各该凸块下金属层的该凸块承载部位于各该铜凸块下,各该凸块下金属层的该延伸部凸出于各该铜凸块的该环壁;多个凸块保护层,其形成于该些凸块下金属层的该些延伸部、各该铜凸块的该第一顶面及该环壁上,各该凸块保护层具有一凸块覆盖部及一金属层覆盖部,各该凸块覆盖部包覆各该铜凸块的该第一顶面及该环壁,且该凸块覆盖部具有一第二顶面,各该金属层覆盖部覆盖各该延伸部;以及多个可润湿层,其形成于该些凸块覆盖部的该些第二顶面上。
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