[发明专利]半导体结构及其制造方法有效
申请号: | 201210553159.7 | 申请日: | 2012-12-19 |
公开(公告)号: | CN103887336A | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | 詹景琳;林镇元;林正基;连士进 | 申请(专利权)人: | 旺宏电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/423;H01L21/336;H01L21/28 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体结构及其制造方法。该半导体结构包括一第一掺杂区、一第二掺杂区以及一栅极结构;第一掺杂区具有一第一导电型,第二掺杂区形成于第一掺杂区中,并具有相对于第一导电型的一第二导电型;栅极结构形成第一掺杂区和第二掺杂区上;栅极结构包括一第一栅极部分和一第二栅极部分,彼此是以一间隙(gap)分隔开。 | ||
搜索关键词: | 半导体 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体结构,包括:一第一掺杂区,具有一第一导电型;一第二掺杂区,形成于该第一掺杂区中,并具有相对于该第一导电型的一第二导电型;以及一栅极结构,位于该第一掺杂区和该第二掺杂区上,该栅极结构包括一第一栅极部分和一第二栅极部分,彼此是以一间隙(gap)分隔开。
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