[发明专利]机械手以及基板搬送装置无效
| 申请号： | 201210363945.0 | 申请日： | 2012-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN103029988A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 原田修;钱景华 | 申请（专利权）人： | 株式会社安川电机 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B25J15/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林;王小东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供机械手和基板搬送装置，能够高效地对基板进行除电。为了解决上述课题，构成机械手和具备所述机械手的基板搬送装置，所述机械手具备多个叉、作为产生部的静电除去装置和作为喷出部的喷出孔。上述多个叉用于载置基板。上述静电除去装置设于上述叉的内部，用于产生离子化的气体。上述喷出孔用于将由上述静电除去装置产生的离子化的气体喷出。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手 以及 基板搬送 装置 | ||
【主权项】：
一种机械手，其特征在于，所述机械手具备：多个叉，所述多个叉用于载置基板；产生部，所述产生部设于所述叉的内部，用于产生离子化的气体；以及喷出部，所述喷出部用于将由所述产生部产生的所述气体喷出。
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