[发明专利]机械手以及基板搬送装置

说明书

技术领域

本发明公开的实施方式涉及机械手以及基板搬送装置。

背景技术

以往，已知用于进行对液晶面板的玻璃基板那样的基板的搬送以及相对于收纳盒的取出和放入的基板搬送装置。

所述基板搬送装置具有机械手，所述机械手具备多个叉，将基板载置于所述叉上进行搬送。而且，基板搬送装置将所述叉插入基板的收纳盒（下面，记载为“盒”）内来进行基板的取出和放入。

然而，在所述基板的搬送和取出放入时，存在着由于发生所谓的摩擦带电或剥离带电等而使基板带有静电的情况，在所述静电放电的时候，有可能导致基板元件的损伤等。

因此，近年来，出现了使用静电除去装置等除电器对基板进行除电的基板搬送装置(例如,参照专利文献1）。

另外，专利文献1公开的基板搬送装置将在机械手的基部设置的静电除去装置所产生的离子化气体经由沿叉配置的配管从叉上的喷出孔喷出，通过将基板所带的静电中和来进行除电。

专利文献1：日本特开2000-82732号公报

然而，在现有的基板搬送装置中，存在如下问题：在将离子化气体经由配管导通期间发生离子的再结合，从而无法高效地中和静电。

发明内容

实施方式的一个方式就是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供能够高效地对基板进行除电的机械手和基板搬送装置。

实施方式的一个方式涉及的机械手具备多个叉、产生部和喷出部。多个叉用于载置基板。产生部设于所述叉的内部，用于产生离子化的气体。喷出部用于将由所述产生部产生的所述气体喷出。

此外，实施方式的一个方式涉及的基板搬送装置具有上述机械手。

根据实施方式的一个方式，能够高效地对基板进行除电。

附图说明

图1是表示包括第一实施方式涉及的机械手和基板搬送装置的基板搬送系统的结构例的图。

图2是表示第一实施方式涉及的机械手的结构例的图。

图3是表示静电除去装置的设置例的图。

图4A是盖的俯视图。

图4B是安装有盖的叉的第一纵剖视图。

图4C是安装有盖的叉的第二纵剖视图。

图5A是表示叉的第一除电区域的图。

图5B是表示叉的第二除电区域的图。

图6是表示变形例涉及的盖的图。

图7A是表示喷出孔的第一成形例的图。

图7B是表示喷出孔的第二成形例的图。

图8A是表示离子的第一喷出方向例的图。

图8B是表示离子的第二喷出方向例的图。

图9A是表示第二实施方式涉及的机械手的结构例的图。

图9B是表示第三实施方式涉及的机械手的结构例的图。

标号说明

1：基板搬送系统；

10：基板搬送装置；

11：升降机构；

12：回转机构；

13：伸缩机构；

14：支承部件；

15、15A、15B：机械手；

16：基部；

20：控制器；

30：盒；

100：基板；

150：叉；

150a：螺孔；

151：吸附部；

152、152A：帽；

152a：安装部；

152b：连接孔；

152c：喷出孔；

153：静电除去装置；

154、154A、154B：配管；

155：喷出孔；

155a：空气积存部；

156：开口部；

157：盖；

200：螺钉。

具体实施方式

下面，参照附图详细说明本申请公开的机械手和基板搬送装置的实施方式。另外，本发明不受下面所示的实施方式限定。

（第一实施方式）

首先，用图1说明包括第一实施方式涉及的机械手和基板搬送装置的基板搬送系统的结构例。图1是表示包括第一实施方式涉及的机械手15和基板搬送装置10的基板搬送系统1的结构例的图。

另外，为了便于理解说明，在图1中图示了包含以竖直向上为正方向的Z轴的三维直角坐标系。所述直角坐标系在下面说明所采用的其他附图中有时也会示出。

如图1所示，基板搬送系统1具有基板搬送装置10、控制器20和盒30。