[发明专利]机械手以及基板搬送装置无效
| 申请号： | 201210363945.0 | 申请日： | 2012-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN103029988A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 原田修;钱景华 | 申请（专利权）人： | 株式会社安川电机 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B25J15/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林;王小东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 机械手 以及 基板搬送 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种机械手，其特征在于，
所述机械手具备：多个叉，所述多个叉用于载置基板；产生部，所述产生部设于所述叉的内部，用于产生离子化的气体；以及喷出部，所述喷出部用于将由所述产生部产生的所述气体喷出。
2.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，
所述喷出部设在所述叉的末端部附近的载置所述基板的面侧。
3.根据权利要求1或2所述的机械手，其特征在于，
所述产生部设于所述喷出部的附近。
4.根据权利要求1或2所述的机械手，其特征在于，
所述叉具有在载置所述基板时吸附所述基板的吸附部，所述喷出部设于所述吸附部的附近。
5.根据权利要求4所述的机械手，其特征在于，
所述喷出部将所述气体朝所述吸附部喷出。
6.根据权利要求1或2所述的机械手，其特征在于，
所述机械手还具备帽，所述帽安装在所述叉的末端部，所述帽具有连接孔，当将所述帽安装到所述末端部时，所述连接孔将导通管与所述喷出部连接起来，所述导通管对在所述产生部产生的所述气体进行导通。
7.一种基板搬送装置，其特征在于，
所述基板搬送装置具有权利要求1～6中的任意一项所述的机械手。
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