[发明专利]一种宽禁带半导体芯片直流性能测试系统无效
| 申请号： | 201210312040.0 | 申请日： | 2012-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN102830337A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 默江辉;李静强;马杰;李亮;崔玉兴;付兴昌;蔡树军;杨克武 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 夏素霞 |
| 地址： | 050051 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种宽禁带半导体芯片直流性能测试系统，属于半导体芯片直流性能的测试方法领域。本发明包括用于提供直流电源的栅极电源和漏极电源、栅极电流表和漏极电流表、测试信号发生器、测试信号调制器以及用于放置目标测试芯片的探针台。本发明利用现有的成熟设备搭建了一个测试平台，用简单的方法实现了宽禁带半导体芯片的直流性能测试，该测试系统成本低，便于操作和维护，性能稳定，可靠性高，同时降低了宽禁带半导体芯片的制作成本，提高了宽禁带半导体芯片的测试效率，为宽禁带半导体芯片特性的表征积累了宝贵数据，为宽禁带半导体器件性能的提高提供了可靠保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 宽禁带 半导体 芯片 直流 性能 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种宽禁带半导体芯片直流性能测试系统，其特征在于包括用于提供直流电源的栅极电源和漏极电源、栅极电流表和漏极电流表、测试信号发生器、测试信号调制器以及用于放置目标测试芯片的、带有栅极输入端和漏极输入端的探针台；所述栅极电源的输出端经由栅极电流表与探针台的栅极输入端相连接，所述漏极电源依次经由漏极电流表、测试信号调制器后与探针台的漏极输入端相连接；所述测试信号发生器的输出端与测试信号调制器的触发端相连接。
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