[发明专利]一种宽禁带半导体芯片直流性能测试系统

权利要求书

1.一种宽禁带半导体芯片直流性能测试系统，其特征在于包括用于提供直流电源的栅极电源和漏极电源、栅极电流表和漏极电流表、测试信号发生器、测试信号调制器以及用于放置目标测试芯片的、带有栅极输入端和漏极输入端的探针台；所述栅极电源的输出端经由栅极电流表与探针台的栅极输入端相连接，所述漏极电源依次经由漏极电流表、测试信号调制器后与探针台的漏极输入端相连接；所述测试信号发生器的输出端与测试信号调制器的触发端相连接。

2.根据权利要求1所述的一种宽禁带半导体芯片直流性能测试系统，其特征在于在所述栅极电流表和探针台的栅极输入端之间还设有测试信号调制器；所述测试信号发生器的输出端与测试信号调制器的触发端相连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种宽禁带半导体芯片直流性能测试系统，其特征在于还包括测试信号监测器，所述测试信号监视器的输入端与测试信号调制器的输出端相连接。

4.根据权利要求3所述的一种宽禁带半导体芯片直流性能测试系统，其特征在于所述测试信号监测器为示波器。

5.根据权利要求1或2所述的一种宽禁带半导体芯片直流性能测试系统，其特征在于还包括滤波模块，所述滤波模块设于栅极电流与探针台之间或/和测试信号调制器与探针台之间。

6.根据权利要求1所述的一种宽禁带半导体芯片直流性能测试系统，其特征在于所述栅极电源和漏极电源均为直流稳压电源。

7.根据权利要求1所述的一种宽禁带半导体芯片直流性能测试系统，其特征在于所述栅极电流表和漏极电流表均为台式万用表。