[发明专利]硬掩模间隙壁结构及其制作方法有效
| 申请号： | 201210299228.6 | 申请日： | 2012-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN103489839A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 王雅志;洪海涵;王文杰 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/48 | 分类号： | H01L23/48;H01L21/768 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硬掩模间隙壁结构，包含有一第一间隙壁，设于一元件层上，且该第一间隙壁定义出多个孔洞图案，以及介于该多个孔洞图案之间的至少一星芒状孔洞图案；以及一第二间隙壁，设于该第一间隙壁上，并嵌入该星芒状孔洞图案中，借以使该星芒状孔洞图案轮廓圆滑化。 | ||
| 搜索关键词： | 硬掩模 间隙 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种硬掩模间隙壁结构，其特征在于，包括：一第一间隙壁，设于一元件层上，且所述第一间隙壁定义出多个孔洞图案，以及介于所述多个孔洞图案之间的至少一星芒状孔洞图案；以及一第二间隙壁，设于所述第一间隙壁上，并嵌入所述星芒状孔洞图案中，借以使所述星芒状孔洞图案轮廓圆滑化。
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