[发明专利]电熔丝及其编程方法在审
| 申请号： | 201210290672.1 | 申请日： | 2012-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN103633065A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 谭颖;张可钢;陈广龙 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525;H01L21/768 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 殷晓雪 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 申请公开了一种电熔丝，由位于下方的金属层一、位于上方的金属层二和连接两者的通孔电极所组成；所述金属层一上具有多个串联的熔丝部；所述金属层二上具有多根连线；所述通孔电极连接每个熔丝部的一端与一根连线。所述电熔丝的编程方法为：每次都在一个熔丝部的两端施加不同电位，以使编程电流流过该熔丝部；对每一个熔丝部重复上述操作；最后在多个串联的熔丝部的两端施加不同电位，以判断是否有电流经过；如果没有电流经过则表明编程成功；反之表明编程失败。本申请所述的电熔丝由多个熔丝部串联组成，虽然每个熔丝部都具有一定的失效率，但串联后整体失效率将随着串联的熔丝部数量而成倍降低。 | ||
| 搜索关键词： | 电熔丝 及其 编程 方法 | ||
【主权项】：
一种电熔丝，由位于下方的金属层一、位于上方的金属层二和连接两者的通孔电极所组成；其特征是，所述金属层一上具有多个串联的熔丝部；所述金属层二上具有多根连线；所述通孔电极连接每个熔丝部的一端与一根连线。
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