[发明专利]电熔丝及其编程方法在审
申请号: | 201210290672.1 | 申请日: | 2012-08-15 |
公开(公告)号: | CN103633065A | 公开(公告)日: | 2014-03-12 |
发明(设计)人: | 谭颖;张可钢;陈广龙 | 申请(专利权)人: | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525;H01L21/768 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 殷晓雪 |
地址: | 201203 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电熔丝 及其 编程 方法 | ||
1.一种电熔丝,由位于下方的金属层一、位于上方的金属层二和连接两者的通孔电极所组成;其特征是,
所述金属层一上具有多个串联的熔丝部;
所述金属层二上具有多根连线;
所述通孔电极连接每个熔丝部的一端与一根连线。
2.根据权利要求1所述的电熔丝,其特征是,所述连线的数量等于通孔电极的数量,均为熔丝部的数量加一。
3.根据权利要求1所述的电熔丝,其特征是,所述金属层一上还包括走线部和熔丝连接部;所述走线部的宽度显著大于熔丝部的宽度,所述熔丝连接部的宽度在两者之间渐变;每个熔丝部的两端都具有熔丝连接部。
4.根据权利要求3所述的电熔丝,其特征是,对于n个串联的熔丝部,n为大于或等于2的自然数;所述金属层一上,按照走线部、熔丝连接部、第一熔丝部、熔丝连接部、走线部、熔丝连接部、第二熔丝部、熔丝连接部、走线部、……的方式以此连接。
5.如权利要求1所述的电熔丝的编程方法,其特征是:每次都在一个熔丝部的两端施加不同电位,以使编程电流流过该熔丝部;对每一个熔丝部重复上述操作;最后在多个串联的熔丝部的两端施加不同电位,以判断是否有电流经过;如果没有电流经过则表明编程成功;反之表明编程失败。
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