[发明专利]高压半导体元件的场元件有效
申请号: | 201210282402.6 | 申请日: | 2012-08-09 |
公开(公告)号: | CN103579298A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
发明(设计)人: | 郑安棣;锺淼钧;徐志嘉;黄胤富 | 申请(专利权)人: | 旺宏电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/78;H01L21/336 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种高压半导体元件的场元件,该场元件包括一第一导电型的一衬底;一第一阱为一第二导电型,是形成于衬底内并由衬底的表面向下扩展;一第二阱,为第一导电型和形成于衬底内并由衬底的表面向下扩展,第二阱邻接第一阱的一侧,而衬底则位于第一阱的另一侧;一第一掺杂区为第一导电型,是形成于第二阱处并与第一阱相隔一距离,其中第一掺杂区的掺杂浓度大于第二阱的掺杂浓度;一导线,是电性连接第一掺杂区并跨越(across)第一阱的上方;和一导电体(conductive body),是位于导线和第一阱之间,且导电体于导线下方对应地跨越(across)第一阱,导电体和导线被电性隔离。当高压半导体元件操作时,是施加一高压于导线,且施加一固定偏压至该导电体,或是不施加任何外部电压于该导电体,都可有效避免场元件开启。 | ||
搜索关键词: | 高压 半导体 元件 | ||
【主权项】:
一种场元件(field device),包括:一第一导电型的一衬底;一第一阱为一第二导电型,是形成于该衬底内并由该衬底的表面向下扩展;一第二阱,为该第一导电型和形成于该衬底内并由该衬底的表面向下扩展,该第二阱邻接该第一阱的一侧,而该衬底则位于该第一阱的另一侧;一第一掺杂区为该第一导电型,是形成于该第二阱处并与该第一阱相隔一距离,其中该第一掺杂区的掺杂浓度大于该第二阱的掺杂浓度;一导线,是电性连接该第一掺杂区并跨越(across)该第一阱的上方;和一导电体(conductive body),是位于该导线和该第一阱之间且于该导线下方对应地跨越(across)该第一阱,该导电体和该导线被电性隔离。
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