[发明专利]一种肖特基瞬态电压抑制二极管及其制备方法无效
申请号: | 201210258297.2 | 申请日: | 2012-07-23 |
公开(公告)号: | CN103579369A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
发明(设计)人: | 朱江 | 申请(专利权)人: | 朱江 |
主分类号: | H01L29/872 | 分类号: | H01L29/872;H01L29/06;H01L21/329 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 113200 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及一种肖特基瞬态电压抑制二极管,本发明将肖特基结引入到PN结中形成穿通击穿结构,在器件发生反向电压击穿时可以有效降低击穿电流对器件的损伤,同时本发明的半导体装置,在PN结的漂移区中设置了轻掺杂的第一传导类型区域,可以有效降低器件的结电容。 | ||
搜索关键词: | 一种 肖特基 瞬态 电压 抑制 二极管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种肖特基瞬态电压抑制二极管,其特征在于:包括:衬底层,为半导体材料;漂移层,为第一传导类型的半导体材料,位于衬底层之上;基区,为第二传导类型的半导体材料,位于漂移层之上;肖特基势垒结,为金属和半导体材料形成的势垒结,位于基区表面;电极金属,位于器件的表面和衬底层背面。
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