[发明专利]一种对位标记及其制作方法有效
| 申请号： | 201210190822.1 | 申请日： | 2012-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN103488063A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 郭梅寒;张新伟;周国平;夏长奉 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;H01L23/544;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种对位标记及其制作方法，该对位标记采用各向异性刻蚀技术制作形成，由于各向异性刻蚀在晶圆不同晶面上的刻蚀速率不一致，可以在晶圆上刻蚀出特定的晶面。依据该特征形成的V型槽，由于两个槽面都是具有特定晶向的晶面，所以其所夹形成的槽脊线也必定准直于晶圆晶向。因此本发明的对位标记可以避免晶圆制作过程引入的对位误差，提高后续对位工艺的精确度和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对位 标记 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种对位标记，形成于一具有衬底取向的晶圆衬底上，其特征在于：所述对位标记包括第一V型槽和第二V型槽，该第一V型槽和第二V型槽的槽脊线互相垂直，所述该第一V型槽的两个第一槽面和所述第二V型槽的两个第二槽面具有同一晶面族的表面取向，且该表面取向不同于所述衬底取向，其中两个第一槽面所夹形成的槽脊线严格准直于衬底晶向。
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