[发明专利]微机电系统(MEMS)装置无效
| 申请号： | 201210182189.1 | 申请日： | 2012-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN102757010A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | S·勒纳尔;A·菲利佩;J·科莱;F-X·布瓦洛 | 申请（专利权）人： | 特罗尼克斯微系统有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 马丽娜;李浩 |
| 地址： | 法国克*** | 国省代码： | 法国;FR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种微机电系统(MEMS)装置，包括至少两个基板(5，6)和在MEMS层中的至少一个可移动结构(3.1，3.2)。所述可移动结构布置在腔体(8.1，8.2)中，所述腔体被封装在该至少两个基板(5，6，7)之间。导电框架(1)围绕所述可移动结构(3.1，3.2)且被布置在两个基板(5，6)的界面处。框架(1)与所述可移动结构(3.1，3.2)电分离，且通过至少第一和第二导电连接(13.1，13.2，13.3；14)分别电连接到所述第一(5)和第二基板(6)。框架(1)可以具有不大于150μm、优选不大于50μm的宽度(w)。第一导电连接位于框架(1)和第一基板(5)之间的界面平面处。第二导电连接是被施加在框架(1)的外周边和第二基板(6)的外周面(15)的层(14)。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 mems 装置 | ||
【主权项】：
一种微电子装置，优选一种微机电系统(MEMS)装置，包括a)至少两个基板(5，6)，b)在MEMS层中的微电子结构，优选是至少一个可移动结构，c)其中所述微电子结构，优选所述可移动结构(4.1，4.2)被布置在被封装在该至少两个基板(5，6，7)之间的腔体(8.1，8.2)中，d)导电框架(1)，其围绕所述微电子结构，优选是所述可移动结构(3.1，3.2)，且被布置在该两个基板(5，6)的界面处，e)其中所述框架(1)与所述微电子结构，优选与所述可移动结构(3.1，3.2)电分离，以及f)所述框架通过至少第一和第二导电连接(13.1，13.2，13.3；14)分别连接到所述第一(5)和第二基板(6)，g)其中第一和第二基板以及框架都具有足够的体导电率，以形成法拉第笼。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于特罗尼克斯微系统有限公司，未经特罗尼克斯微系统有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210182189.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
