[发明专利]利用可控脉冲激光加工纳米结构的方法及装置有效
| 申请号： | 201210065434.0 | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN102583228A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 黄伟其 | 申请（专利权）人： | 贵州大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B82Y40/00;B23K26/36;B23K26/12 |
| 代理公司： | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人： | 李亮;程新敏 |
| 地址： | 550025 贵州省贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用可控脉冲激光加工纳米结构的方法及装置，将脉冲激光头发出的脉冲激光通过PLE激光透镜射入真空腔内，使脉冲激光会聚在真空腔体内的样品表面，对样品进行加工；同时用光纤探头在线探测产生的等离子体辉光中电子光谱的变化，通过改变加工气氛来以控制等离子体波的振荡频率，调控脉冲激光在样品上刻蚀出各种发光的纳米结构。本发明利用脉冲激光等离子体刻蚀技术，用光纤探头探测其等离子体辉光在不同气氛中变化，通过改变加工气氛来获得对发光工作物质进行可控的激活操作；本发明可通过切换光路来实现PLE和PLD的复合加工，制备各种半导体的发光纳米结构，特别是含量子点的超晶格发光结构。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 可控 脉冲 激光 加工 纳米 结构 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种利用可控脉冲激光加工纳米结构的方法，其特征在于：将脉冲激光头发出的脉冲激光通过PLE激光透镜射入真空腔内，使脉冲激光会聚在真空腔内的样品表面，对样品进行加工；同时用光纤探头在线探测产生的等离子体辉光中电子光谱的变化，通过改变加工气氛控制等离子体波的震荡频率，从而实现可控脉冲激光在样品上刻蚀各种纳米结构。
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