[发明专利]利用可控脉冲激光加工纳米结构的方法及装置

权利要求书

1.一种利用可控脉冲激光加工纳米结构的方法，其特征在于：将脉冲激光头发出的脉冲激光通过PLE激光透镜射入真空腔内，使脉冲激光会聚在真空腔内的样品表面，对样品进行加工；同时用光纤探头在线探测产生的等离子体辉光中电子光谱的变化，通过改变加工气氛控制等离子体波的震荡频率，从而实现可控脉冲激光在样品上刻蚀各种纳米结构。

2.根据权利要求1所述的利用可控脉冲激光加工纳米结构的方法，其特征在于：在样品刻蚀纳米结构的加工完成后，将脉冲激光头发出的脉冲激光通过PLD激光透镜射入真空腔内，使脉冲激光会聚在靶材上，利用PLD技术对已刻蚀出纳米结构的样品进行PLD复合加工，制备各种量子阱和超晶格结构；并用光纤探头同步探测，实现可控脉冲激光等离子体波的沉积加工和调控气氛沉积加工。

3.根据权利要求1所述的利用可控脉冲激光加工纳米结构的方法，其特征在于：完成脉冲激光加工后，利用双向功能光纤探头传输紫外波长的激发光照射发光样品，实现发光样品的在线光致荧光（PL）光谱检测。

4.根据权利要求1所述的利用可控脉冲激光加工纳米结构的方法，其特征在于：所述脉冲激光的波长为紫外、可见与红外三个波段，脉冲激光的脉宽控制在10～100ns。

5.一种利用可控脉冲激光加工纳米结构的装置，包括真空腔体（1），其特征在于：在真空腔体（1）的侧面设有激光窗口（2），在激光窗口（2）上设有腔入射镜（7），在激光窗口（2）外设有PLE激光透镜（3），在真空腔体（1）内设有样品台（5），样品台（5）与PLE激光透镜的光路对应，在样品台（5）的后端连接有取样柄（6）；在激光窗口（2）外设有光纤探头（8），在真空腔体（1）外设有光谱仪（9），光纤探头（8）与光谱仪（9）连接。

6.根据权利要求5所述的利用可控脉冲激光加工纳米结构的装置，其特征在于：在激光窗口（2）外设有PLD激光透镜（4），在真空腔体（1）内设有靶台（7），靶台（7）与PLD激光透镜（4）的光路对应。

7.根据权利要求5所述的利用可控脉冲激光加工纳米结构的装置，其特征在于：光纤探头（8）为双向光纤探头，在光纤探头（8）上连接有LD激发光源（10）。