[发明专利]粒子光学系统及布置，以及用于这种系统及布置的粒子光学组件有效
| 申请号： | 201180057076.2 | 申请日： | 2011-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN103238202B | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | D.蔡德勒;T.凯曼;P.安格;A.卡萨里斯;C.里德赛尔 | 申请（专利权）人： | 以色列实用材料有限公司;卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/09 | 分类号： | H01J37/09 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源（301）；具有多个孔径的第一多孔径板（320），其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游；第一多孔径选择器板（313），具有多个孔径；载体（340），其中所述第一多孔径选择器板安装在所述载体上；致动器（350），构造为移动所述载体，使得在所述系统的第一操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游，并且使得在所述系统的第二操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述带电粒子束路径之外。其中，所述源、所述第一多孔径板和所述载体被布置为使得在所述第一操作模式中，在所述第一多孔径板和所述第一多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，并且使得在所述第二操作模式中，在所述位置处产生第二数量的带电粒子小波束，其中小波束的第一数量与小波束的第二数量不同。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子 光学系统 布置 以及 用于 这种 系统 光学 组件 | ||
【主权项】：
一种带电粒子多小波束系统，包含：带电粒子的源(301)；具有多个孔径的第一多孔径板(320)，其布置在所述系统(1)的带电粒子束路径(13)中所述源(301)的下游；第一多孔径选择器板(313)，具有多个孔径(315)；载体(340)，其中所述第一多孔径选择器板(313)安装在所述载体(340)上；致动器(350)，构造为移动所述载体(340)，使得在所述系统(1)的第一操作模式中将所述第一多孔径选择器板(313)布置在所述系统(1)的带电粒子束路径(13)中所述源(301)的下游，并且使得在所述系统(1)的第二操作模式中将所述第一多孔径选择器板(313)布置在所述带电粒子束路径(13)之外；聚焦透镜(102)，其布置在所述第一多孔径板(320)和所述第一多孔径选择器板(313)二者下游的束路径中；载台，用于将物体(7)安装在位于所述聚焦透镜(102)下游的物平面(101)中；以及具有孔径的场分离电极(103)，其布置在所述聚焦透镜(102)下游且在所述物平面(101)上游的带电粒子束路径中；其中，所述源(301)、所述第一多孔径板(320)和所述载体(340)被布置为使得在所述第一操作模式中，在所述第一多孔径板(320)和所述第一多孔径选择器板(313)二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束(3)，并且使得在所述第二操作模式中，在所述位置处产生第二数量的带电粒子小波束(3)，其中小波束(3)的第一数量与小波束(3)的第二数量不同；其中，所述场分离电极(103)的孔径具有一直径(De)，使得其在所述第一操作模式中由所述第一数量的小波束(3)穿过，而在所述第二操作模式中由所述第二数量的小波束(3)穿过；并且其中，所述场分离电极与所述物平面(101)的距离(d)小于2.0mm、1.2mm、0.8mm、0.5mm、0.3mm或0.2mm，以及/或者其中所述场分离电 极(103)的孔径的直径小于2.0mm、1.5mm、1.0mm、0.8mm、0.6mm和0.4mm中的一个。
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- 一种离子注入系统(100)，包括：离子源(116)，构造为产生沿着射束路径(136)的离子束(104)；位于该离子源的下游的质量分析器(130)，其中，该质量分析器构造为对该离子束进行质量分析；和射束互补孔洞(330)，位于该质量分析器的下游且沿着该射束路径，该射束互补孔洞具有对应于该离子束的横截面射束包络的尺寸和形状。
- 具有可调整孔径的离子源-200980113522.X
- 丹尼尔·蒂戈尔;威廉·迪韦尔吉利奥;爱德华·艾斯纳;迈克尔·格拉夫 - 艾克塞利斯科技公司
- 2009-04-23 - 2011-04-06 - H01J37/09
- 本发明公开一种离子植入器系统，其包括一种使用于产生离子流或离子射束的一离子源。该离子源具有一离子源室壳体，其至少部分地限定一离子化区域，以用于在该室壳体中产生高密度的离子浓度。一所想要特征的离子撷取孔径覆盖一弧形室的该离子化区域。在一实施例中，一可移动离子撷取孔径板相对于该壳体移动，以用于修正一离子射束轮廓。一实施例包括一孔径板，其具有至少一延长孔径，且在至少界定不同离子射束轮廓的一第一位置与一第二位置间移动。耦接至该孔径板的一驱动器或致动器系将该孔径板在该第一位置与该第二位置间移动。一替代实施例具有两个移动板部分，其限定一可调整孔径。
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