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[发明专利]电子显微镜的物镜消像散器-CN201110349943.1有效
发明人：董全林;张春熹;姚骏恩;南国;高阳;张亚彬;吴国增;刘雪萍;陈川;莫西;陈楠;范运强 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2011-11-08 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： H01J37/153 文献下载
摘要：本发明提出一种电子显微镜的物镜消像散器，是用于增强物镜线圈磁感应强度的装置。所述装置主要包括电磁消像散器组件、保护套、屏蔽磁套、隔圈组件、接线螺圈、螺套、螺圈和固定光栏，电磁消像散器组件又包括线圈支架和线圈框，线圈框上缠绕有消像散线圈，接线螺圈螺纹套接在线圈支架上，保护套螺纹套接在线圈框外，固定光栏通过保护套伸入线圈支架的中心通孔，屏蔽磁套与隔圈组件固定一起，隔圈组件通过螺套和螺圈固定在线圈支架上。本发明采用电磁式，结构简单、不易污染、使用方便，且将消像散所产生的磁路限制在一个很小的范围内，增强了消像散的功能。
电子显微镜物镜消像散器

[发明专利]一种透射电子显微镜的物镜线圈-CN201110349657.5有效
发明人：董全林;张春熹;姚骏恩;吴国增;南国;高阳;张亚彬;范运强;刘雪萍;陈川;莫西;陈楠 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2011-11-08 - 公布日： 2012-03-21 - 主分类号： H01J37/141 文献下载
摘要：本发明属于微纳测控技术领域，具体涉及一种透射电子显微镜的物镜线圈，该物镜线圈由物镜线框组件、漆包线、中间圆板、屏蔽半圆环A和屏蔽半圆环B组成。物镜线框组件包括上水套组件、下水套组件和芯套。芯套具有上部凸台、中部凸台A、中部凸台B和下部凸台，上水套组件和下水套组件结构相同，上水套组件由上水套板、上隔水板和上水套盖组成；下水套组件由下水套板、下隔水板和下水套盖组成。上水套板通过四周氩弧焊焊接在上部凸台上，上水套盖穿过上部凸台顶端，通过四周氩弧焊焊接在上水套板的顶部。本发明中上水套组件和下水套组件分别对物镜的上线包和下线包进行冷却，冷却效果好，采用高温控精度的冷水机，温度波动小，精度高。
一种透射电子显微镜物镜线圈

[发明专利]一种透射电子显微镜的物镜极靴-CN201110349944.6有效
发明人：张春熹;董全林;姚骏恩;张亚彬;吴国增;南国;高阳;陈楠;范运强;刘雪萍;陈川;莫西 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2011-11-08 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： H01J37/141 文献下载
摘要：本发明公开了一种透射电子显微镜的物镜极靴，包括上极靴、下极靴和隔套，装配时，上极靴、下极靴和隔套对配，需保证同轴度。本发明中物镜的上极靴与下极靴通过隔套实现无应力连接，磁特性效果好(由于无应力)；上极靴与下极靴的小孔便于加工、工艺性好；隔套外圆周上的通孔便于安装能谱仪等附件，可扩展性强；极靴材料选用高性能软磁材料1J22，可靠、效果好；采用了三段式连接方式，具有结构简单、维修方便的特点，提高了实用性能；采用了优异的热传导材料锡青铜，作为热传导材料和隔套，效果好、寿命长。
一种透射电子显微镜物镜

[发明专利]电子显微镜的观察室隔离装置-CN201110134583.3无效
发明人：董全林;姚骏恩;张春熹;杨彦杰;袁水平;于成交;孟凡念;孙茂多 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2011-05-23 - 公布日： 2011-11-02 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：本发明公开一种电子显微镜的观察室隔离装置，属于电子显微镜领域。该装置由支撑外壳、底盘组件、滑动导轨组件、阀体组件和驱动气缸连接构成；通过气缸驱动阀体组件，隔离或开通设置在支撑外壳的环形凹槽内的底盘组件的通孔，实现开关的目的。该隔离装置结构简单，便于操作，装配及维修方便，并且采用驱动气缸作为驱动装置，气动驱动具有体积小、作用力大、工作可靠、无污染等优点；阀体的运动配合机械限位，通过接触面的互相配合的凹槽和台阶，带动滑块运动，使隔离阀打开或关闭，在占用体积有限的情况下实现隔离阀功能。
电子显微镜观察室隔离装置

[发明专利]电子显微镜电子枪的换气装置-CN201110077408.5无效
发明人：董全林;姚骏恩;张春熹;袁水平;于成交;杨彦杰;孟凡念;孙茂多 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2011-03-29 - 公布日： 2011-11-02 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：本发明公开一种电子显微镜的电子枪换气装置，属电子显微镜领域。包括：四通组件设有进气接口、抽放气接口、压力表接口和接电子枪的换气接口，四个接口通过四通组件内部相互连通；其中，四通组件的进气接口与充气组件的出气口连接，抽放气接口经转换阀与抽气装置连接，压力表接口与电接点压力表连接；转换阀设有抽气接口和四通组件接口，通过四通组件接口与四通组件的抽放气接口连接，通过抽气接口与抽气装置连接，转换阀内设有开关，开关设有抽气、充气和放气三个位置，处于抽气位置时能使四通组件接口与抽气接口之间连通；处于充气位置时能使四通组件接口与抽气接口都关闭，处于放气位置能进行放气。该换气装置结构简单，操作方便，密封性好。
电子显微镜电子枪换气装置

[发明专利]电子显微镜的第二聚光镜-CN201110077557.1无效
发明人：董全林;姚骏恩;张春熹;张秀艳;孟凡念;崔永俊;迟悦;袁水平;杨彦杰;于成交 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2011-03-29 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： H01J37/21 文献下载
摘要：本发明公开一种电子显微镜的第二聚光镜，属电子显微镜领域。包括：外壳为两端开口的圆环柱形空腔，下盖板盖住外壳的下端开口，磁环外面套装磁路线圈，两者均设置在外壳内，磁路线圈下面设有水套隔圈组件，水套隔圈组件下面为下盖板，下盖板、磁环、水套隔圈组件的中间部位均设有通孔，三者通孔相连通，连通后的通孔内从上至下依次设置垫圈和极靴组件；垫圈、极靴组件内均设有通孔，两者通孔相互连通，连通后的通孔内从上至下依次设置固定光阑组件和消象散组件。该第二聚光镜可将第一聚光镜缩小的电子枪交叉点的束斑进行适当放大，从而改变电子束斑的大小，实现针对不同样品可提供不同的束斑大小，提高电子显微镜的性能。
电子显微镜第二聚光镜

[发明专利]电子显微镜用高压箱的换气装置-CN201110031719.8无效
发明人：董全林;姚骏恩;张春熹;李文萍;孙茂多;袁水平;于成交;杨彦杰;孟凡念 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2011-01-28 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： H01J37/248 文献下载
摘要：本发明公开一种电子显微镜用高压箱的换气装置，属于为高压箱换气使用的换气装置。该换气装置包括：四通组件、充气管路、抽气管路、排气管路和高压箱连接管路；四通组件设有四个管接头，每个管接头上均设有真空手动隔断阀；其中第一管接头与用于连接抽气装置的抽气管路连接；第二管接头与用于连接六氟化硫气体储气罐或氮气储气罐的充气管路连接；第三管接头与用于排出高压箱内气体的排气管路连接；第四管接头与用于连接高压箱的高压箱连接管路连接。该换气装置具有结构简单，换气操作方便，密封性好，安全可靠，可保证充入到高压箱内SF6气体的纯净度，也避免了对SF6气体的浪费。
电子显微镜高压换气装置

[发明专利]电子显微镜的第一聚光镜-CN201110077399.X有效
发明人：董全林;姚骏恩;张春熹;张秀艳;孟凡念;崔永俊;迟悦;杨彦杰;于成交;袁水平 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2011-03-29 - 公布日： 2011-08-31 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：本发明公开一种电子显微镜的第一聚光镜，属电子显微镜领域。包括：外壳为两端开口的圆柱环形空腔；上盖板、密封隔圈和磁环连接后设置在外壳内，上盖板盖住外壳的上端开口，在上盖板上设置铅板，上盖板、密封隔圈和磁环的中间部位均设有相互连通的通孔；上盖板、密封隔圈和磁环的连通后的通孔内从上至下依次设置固定光阑组件和极靴组件，固定光阑组件和极靴组件中间部位均设有相互连通的通孔，连通后的通孔作为该第一聚光镜的电子束通路；在极靴组件连接处的密封隔圈和磁环外面围绕设置磁路线圈，磁路线圈上面设有水套隔圈组件，水套隔圈组件的上面为上盖板。该第一聚光镜结构简单，零部件少，操作方便，便于装配和维修，能将电子枪交叉点的电子束斑进行较大地缩小，提高电子显微镜性能。
电子显微镜第一聚光镜

[发明专利]电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置-CN201110062041.X无效
发明人：董全林;姚骏恩;张春熹;孟凡念;崔永俊;张秀艳;于成交;袁水平;杨彦杰 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2011-03-15 - 公布日： 2011-08-24 - 主分类号： H01J37/09 文献下载
摘要：本发明公开一种电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置，属电子显微镜领域。该装置中，光阑架上设有定位槽和压片，光阑片通过压片压设在定位槽内；光阑片上排列设有四个孔径不同的通孔作为光阑孔；光阑架设在光阑孔调节装置的光阑轴前端，能通过光阑孔调节装置上设置的调节手柄、尾盖螺帽和微调装置，调节光阑轴对光阑片上的光阑孔进行选择及空间三个方向上的精密调整，使光阑孔的中心处于电子束轴线上。该装置结构简单，方便选择并定位不同孔径通孔作为光阑孔，从而获得不同的照明孔径角，使第二聚光镜实现针对不同的样品可提供不同的照明孔径角。
电子显微镜聚光镜用可动光阑装置

[发明专利]应用于透射电子显微镜的层叠式低像差会聚小透镜-CN201110039361.3有效
发明人：董全林;姚骏恩;张春熹;崔永俊;张秀艳;孟凡念;迟悦;于成交;杨彦杰;袁水平 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2011-02-16 - 公布日： 2011-08-10 - 主分类号： H01J37/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于透射电子显微镜的层叠式低像差会聚小透镜，包括励磁线圈、外磁路、极靴，极靴的下部为层叠式结构，包括多个层叠布置的软磁性材料磁环，相邻的软磁性材料磁环之间采用非导磁材料圆环作为间隔。相邻的所述软磁性材料磁环的厚度比为1∶0.618，自极靴的端部向上按顺序厚度增长呈指数分布。可在较长的工作距离下获得低的球差系数，且透镜的极靴不易饱和，因此可在较大励磁电流作用下在极靴处获得较强的磁场，很好的解决了极靴饱和与磁场强度之间的矛盾。
应用于透射电子显微镜层叠式低像差会聚透镜

[发明专利]电子显微镜的样品室-CN201110032114.0无效
发明人：董全林;姚骏恩;张春熹;于成交;杨彦杰;袁水平;孟凡念;孙茂多 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2011-01-28 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子显微镜的样品室，属于电子显微镜技术领域。该样品室包括：外壳、上托板、下托板、第一堵头、第二堵头、真空法兰和波纹管；所述外壳为中空筒体，筒体内设有一环形凸台，筒壁上设有两个附件安装孔和抽真空孔，两个附件安装孔和抽真空孔均与外壳的筒体内连通；上托板扣装在外壳的一端开口上，固定在外壳的筒体内的所述环形凸台上；下托板固定扣装在上托板上；所述第一堵头、第二堵头分别设置在两个附件安装孔上，堵住两个附件安装孔，起密封作用；所述波纹管通过所述真空法兰设置在所述外壳的筒壁上的抽真空孔上。该样品室具有结构简单、体积小，部件少，装配及维护方便等优点。
电子显微镜样品

[发明专利]电子显微镜的小聚光镜-CN201110032112.1有效
发明人：董全林;姚骏恩;张春熹;孟凡念;崔永俊;张秀艳;杨彦杰;于成交;袁水平 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2011-01-28 - 公布日： 2011-07-27 - 主分类号： H01J37/14 文献下载
摘要：本发明公开一种电子显微镜的小聚光镜，属电子显微镜领域。包括：下极靴为上端开口的圆筒体，圆筒体上端开口外设有法兰，下端设有圆锥形底，圆锥形底上设有电子束通孔；上极靴为中空的圆筒体，上极靴下端设有环形凸台，上极靴设在下极靴内；磁路线圈组件由环形线圈套装在线圈筒架上构成，线圈筒架为中空圆筒体，圆筒体两端设有固定环形线圈的挡板；磁路线圈组件套装在下极靴内的上极靴上，夹设在上、下极靴之间，磁路线圈组件底端通过线圈垫板设置在上极靴的环形凸台上；下极靴的上端开口的法兰上设置能盖住下极靴内各部件的隔圈，隔圈与下极靴固定连接，隔圈的中心部位设有通孔。该小聚光镜结构简单，使用方便。
电子显微镜聚光镜

[发明专利]一种利用同步可控电子束提高聚焦离子束加工精度的方法-CN201010569692.3无效
发明人：王荣明;罗浒;崔益民;姚骏恩 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2010-12-02 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种利用同步可控电子束提高聚焦离子束加工精度的方法，该方法有四大步骤：一、对刻蚀加工的样品进行清洗、烘干，然后装入双束系统的样品台上，并抽取真空；二、移动样品台到该双束系统的工作距离，调节该双束系统电压、束流等参数，调节好电子束与离子束象散，最终使该系统中的电子束与离子束的焦点汇聚于样品表面。三、在聚焦离子束曝光软件-图形发生器上设计好需要加工的图形；同时打开聚焦离子束和电子束辅助聚焦离子束刻蚀加工，根据聚焦离子束束流大小选择好合适的电子束束流范围；四、关闭该双束系统中电子束与离子束的高压，从样品室的样品台上取出加工刻蚀完的样品。它在半导体工业及材料的微纳米加工等技术领域里具有发展前景。
一种利用同步可控电子束提高聚焦离子束加工精度方法

[发明专利]一种制备近场光学探针的研磨装置及其方法-CN200910087975.1无效
发明人：蔡微;商广义;魏恩浩;徐平;姚骏恩 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2009-06-26 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： B24B19/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备近场光学探针的装置及其方法，所述装置包括减振橡胶、支撑底板、三相无刷电机、调节架和光学显微镜，所述的支撑底板水平设置的减震橡胶上，支撑底板上固定三相无刷电机、调节架和光学显微镜；所述方法首先将石英光纤固定在调节架上，并以设定的角度固定在研磨材料的上方，当研磨材料旋转时，使光纤接近研磨材料并产生摩擦，然后将光纤沿其轴向旋转不同的角度，反复与研磨片接近并摩擦；即可磨制出三棱锥、四棱锥及圆锥等不同形状的近场光学探针。该方法克服了制作光纤探针锥角的限制，可以直接设定研磨锥角，制作方式灵活；制作过程安全、环保；制备时间短，参数容易精确控制，重复性好；整个装置的操作简便，制备成本低廉。
一种制备近场光学探针研磨装置及其方法

[发明专利]一种组合式三维高速扫描装置-CN200910085101.2无效
发明人：周瑜升;商广义;蔡微;姚骏恩 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2009-05-31 - 公布日： 2009-11-11 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种组合式三维高速扫描装置，该装置主要包括三维扫描器和高速一维扫描器，当样品台固定在高速一维扫描器上时，所述的高速一维扫描器通过固定底座安装在三维扫描器上，高速一维扫描器带动样品台与三维扫描器一起实现三维高速扫描；当样品台固定在三维扫描器上时，所述的高速一维扫描器固定在探针固定架上，高速一维扫描器带动探针与三维扫描器一起实现三维高速扫描。本发明具有扫描速度非常高(视频扫描速度)、扫描范围大，结构简单，使用简便、成本低廉；抗干扰能力强，能够很好地实现SPM高速成像。
一种组合式三维高速扫描装置

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