[实用新型]中高频多晶硅还原炉自动加热调功系统有效
申请号: | 201120454902.4 | 申请日: | 2011-11-16 |
公开(公告)号: | CN202322394U | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 谈波;张江城;刘添华;赵伟;陈宝山 | 申请(专利权)人: | 山东伟基炭科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035;H02M5/458;H02M5/12;H02M7/5387 |
代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人: | 苗峻 |
地址: | 250101 山东省济南市高新区*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种中高频多晶硅还原炉自动加热调功系统。该系统包括升压电路、二极管整流电路、稳压电路、逆变电路和负载电路,升压电路输入端与交流电源连接,其输出端连接二极管整流电路,二极管整流电路输出端与稳压电路连接,稳压电路输出端连接逆变电路输入端,逆变电路输出端与负载电路连接,所述交流电源采用中高频电源,升压电路输入回路中设有一双向可控硅,所述负载电路包括一续流电感和一LC并联谐振回路,其中多晶硅硅棒串联组成的等效电阻与谐振电感串联。本实用新型在多晶硅还原生产中引入中高频电源,利用高频电源的集肤效应原理减少熔芯的危险,增加了硅棒在大直径时的沉积速度,提高了多晶硅的生产效率。 | ||
搜索关键词: | 高频 多晶 还原 自动 加热 系统 | ||
【主权项】:
一种中高频多晶硅还原炉自动加热调功系统,所述系统包括升压电路、二极管整流电路、稳压电路、逆变电路和负载电路,升压电路输入端与交流电源连接,其输出端连接二极管整流电路,二极管整流电路输出端与稳压电路连接,稳压电路输出端连接逆变电路输入端,逆变电路输出端与负载电路连接,其特征在于:所述交流电源采用中高频电源,升压电路输入回路中设有一双向可控硅,所述负载电路包括一续流电感和一LC并联谐振回路,其中多晶硅硅棒串联组成的等效电阻与谐振电感串联。
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