[实用新型]中高频多晶硅还原炉自动加热调功系统

权利要求书

1.一种中高频多晶硅还原炉自动加热调功系统，所述系统包括升压电路、二极管整流电路、稳压电路、逆变电路和负载电路，升压电路输入端与交流电源连接，其输出端连接二极管整流电路，二极管整流电路输出端与稳压电路连接，稳压电路输出端连接逆变电路输入端，逆变电路输出端与负载电路连接，其特征在于：所述交流电源采用中高频电源，升压电路输入回路中设有一双向可控硅，所述负载电路包括一续流电感和一LC并联谐振回路，其中多晶硅硅棒串联组成的等效电阻与谐振电感串联。

2.根据权利要求1所述的中高频多晶硅还原炉自动加热调功系统，其特征在于：所述逆变电路为桥式逆变电路，每个桥臂上设有一可控硅和一续流电感。

3.根据权利要求1或2所述的中高频多晶硅还原炉自动加热调功系统，其特征在于：所述稳压电路由电容和电感并联组成。

4.根据权利要求3所述的中高频多晶硅还原炉自动加热调功系统，其特征在于：所述升压电路为一具有N组抽头的升压变压器。