[发明专利]用于化学气相沉积机台的真空泵的排气管及相应的真空泵

摘要

本发明涉及一种用于化学气相沉积机台的真空泵的排气管，其两端分别与真空泵的出口端以及废气处理机连接，在排气管中设置有紧贴所述排气管内壁的防粘内衬管。本发明还涉及一种用于化学气相沉积机台的真空泵。本发明的用于化学气相沉积机台的真空泵的排气管及相应的真空泵不易在排气管中产生堵塞，解决了现有排气管易产生堵塞造成清理排气管的人力、时间的浪费以及对化学气相沉积机台设备可使用时间的影响。

主权项

一种用于化学气相沉积机台的真空泵的排气管，其两端分别与所述真空泵的出口端以及废气处理机连接，其特征在于，在所述排气管中设置有紧贴所述排气管内壁的防粘内衬管。