[发明专利]用于化学气相沉积机台的真空泵的排气管及相应的真空泵

权利要求书

1.一种用于化学气相沉积机台的真空泵的排气管，其两端分别与所述真空泵的出口端以及废气处理机连接，其特征在于，在所述排气管中设置有紧贴所述排气管内壁的防粘内衬管。

2.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积机台的真空泵的排气管，其特征在于，所述防粘内衬管的材料为聚四氟乙烯。

3.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积机台的真空泵的排气管，其特征在于，所述防粘内衬管设置在所述真空泵的出口端与所述排气管的连接处。

4.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积机台的真空泵的排气管，其特征在于，所述防粘内衬管设置在所述废气处理机与所述排气管的连接处。

5.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积机台的真空泵的排气管，其特征在于，所述防粘内衬管同时设置在所述真空泵的出口端与所述排气管的连接处，以及所述废气处理机与所述排气管的连接处。

6.根据权利要求3-5中任一所述的用于化学气相沉积机台的真空泵的排气管，其特征在于，所述排气管在未设置所述防粘内衬管的相应部位的外表面设置有加热带。

7.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积机台的真空泵的排气管，其特征在于，所述防粘内衬管设置在整个所述排气管的内壁。

8.一种用于化学气相沉积机台的真空泵，其两端分别与所述化学气相沉积机台的排气口以及废气处理机连接，所述真空泵包括与所述废气处理机连接的排气管，其特征在于，在所述排气管中设置有紧贴所述排气管内壁的防粘内衬管，所述防粘内衬管的材料为聚四氟乙烯。

9.根据权利要求8所述的用于化学气相沉积机台的真空泵，其特征在于，所述防粘内衬管设置在所述真空泵的出口端与所述排气管的连接处和/或所述废气处理机与所述排气管的连接处。

10.根据权利要求8所述的用于化学气相沉积机台的真空泵，其特征在于，所述防粘内衬管设置在整个所述排气管的内壁。