[发明专利]发光二极管的制造方法有效
| 申请号： | 201110276404.X | 申请日： | 2011-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN102403415A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 黄泓文;夏兴国;邱清华 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李琳;张龙哺 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种发光二极管的制造方法，包括：一种发光二极管形成于一蓝宝石基板之上，该蓝宝石基板可借由研磨与接着蚀刻而自该发光二极管处移除。该蓝宝石基板采用单一或多重研磨料而先研磨至一第一特定厚度。借由干蚀刻或湿蚀刻以移除剩余的蓝宝石基板。本发明可改善制造工艺，制作出高效率与机械上耐用的发光二极管。 | ||
| 搜索关键词： | 发光二极管 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种发光二极管的制造方法，包括：提供一蓝宝石基板；形成一发光结构于该蓝宝石基板上，该发光结构包括：一第一掺杂层，掺杂有第一导电类型的一第一掺质；一有源层，位于该第一掺杂层之上；以及一第二掺杂层，位于该有源层之上，该第二掺杂层掺杂有相反于该第一导电类型的一第二导电类型的一第二掺质；研磨该蓝宝石基板的一背面，以移除该蓝宝石基板的一部；以及借由蚀刻以移除该蓝宝石基板的一剩余部。
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