[发明专利]一种蓝宝石图形衬底的制备方法有效
| 申请号： | 201110189797.0 | 申请日： | 2011-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN102867890A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 刘岩;王德晓;邵慧慧;刘存志;徐现刚 | 申请（专利权）人： | 山东华光光电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 吕利敏 |
| 地址： | 250101 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蓝宝石图形衬底的制备方法，先制作光刻胶图形，进行氧气等离子体清洗后，再沉积薄膜，然后剥离得到掩膜图形，并通过湿法刻蚀得到蓝宝石图形衬底。本方法可以很好的控制图形的尺寸，保证掩膜图形的质量，有效提高GaN LED的光提取效率，而且成本低，适用于批量化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 图形 衬底 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石图形衬底的制备方法，包括以下步骤：(1)利用常规的光刻工艺在蓝宝石衬底上制得光刻胶掩膜图形，进行氧气等离子体清洗；(2)在步骤(1)制得的有光刻胶掩膜图形的衬底上蒸镀或沉积一层薄膜层，薄膜层材料选自金属或介质膜；(3)将步骤(2)制得的有薄膜层的衬底放入剥离液中，剥离掉光刻胶上的薄膜层，保留图形上的薄膜层；(4)将步骤(3)制得的衬底采用湿法刻蚀，得到有薄膜层的蓝宝石图形衬底；(5)腐蚀去掉步骤(4)产品图形上的薄膜层，冲洗、甩干，得蓝宝石图形衬底。
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