[发明专利]用于在真空腔中实现真空的方法和配置无效
| 申请号： | 201080017651.1 | 申请日： | 2010-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN102414775A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | S.巴尔图森 | 申请（专利权）人： | 迈普尔平版印刷IP有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/16 | 分类号： | H01J37/16;H01J37/18;H01L21/677;H01L21/00;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈晓帆;沙捷 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于在真空腔(400)中实现真空的方法。该真空腔连接至抽吸系统(300)，该抽吸系统由多个真空腔共同使用。此方法包括将每个真空腔分别抽成真空。本发明还包括装置，该装置具有连接至抽吸系统的多个真空腔。在该装置中，抽吸系统被配置成将每个真空腔分别抽成真空。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 空腔 实现 真空 方法 配置 | ||
【主权项】：
一种在真空腔内实现真空的方法，其中所述真空腔连接至抽吸系统，所述抽吸系统由多个真空腔共同使用，所述方法包括将各所述真空腔分别抽成真空。
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- 专利分类
