[发明专利]硅片传输机械手双电机同步控制装置及其方法有效
| 申请号： | 201010614226.2 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102545733A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 曲道奎;王金涛;宋吉来;邹风山 | 申请（专利权）人： | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 |
| 主分类号： | H02P5/50 | 分类号： | H02P5/50;H02P5/52 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 李晓光 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种硅片传输机械手双电机同步控制装置及其方法，步骤为：主计算机通过轨迹规划计算，得到两个电机输出轴的期望位置；通过编码器接口电路读取两个电机输出轴的实际位置；进行PID计算得到单轴位置闭环控制量输出给电机驱动器；通过两个电机输出轴的实际位置计算得到两个电机输出轴的实际速度；根据两个电机输出轴的实际速度分别求两个电机输出轴的速度差和位置差；将上述速度差和位置差输入交叉耦合控制器进行处理，得到交叉耦合控制量；将交叉耦合控制量与单轴位置闭环控制量相加或减，然后输出给电机驱动器，实现两轴的交叉耦合同步控制。本发明能够在机械手运行过程中提高手臂同步性，避免硅片损坏，能够对机械手不同步性进行补偿，提高同步性。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 传输 机械手 电机 同步 控制 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种硅片传输机械手双电机同步控制装置，其特征在于包括：主计算机、DSP电机同步控制卡、电机驱动器以及电机，其中主计算机作为主机，DSP电机同步控制卡作为从机，二者进行通信连接，DSP电机同步控制卡的两输出端分别与两个电机驱动器相连，每个电机驱动器的控制输出端接至电机，电机转速信息通过电机驱动器送至DSP电机同步控制卡。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳新松机器人自动化股份有限公司，未经沈阳新松机器人自动化股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010614226.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：自动送焊丝焊机
- 下一篇：一种吸收扩散式制冷设备蒸发管专用攻丝机
