[发明专利]MEMS开关及其制作方法有效
| 申请号： | 201010608168.2 | 申请日： | 2010-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN102543591A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 毛剑宏;唐德明 | 申请（专利权）人： | 上海丽恒光微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01H1/00;H01H11/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS开关及其制作方法，所述MEMS开关包括：半导体衬底；位于半导体衬底上的开关腔体，所述开关腔体包括底部介质层以及顶部介质层；位于所述底部介质层的第一组开关触点；位于所述顶部介质层的第二组开关触点；还包括机械臂，所述机械臂包括固定于开关腔体底部介质层上的固定端以及悬浮的自由端，所述自由端上形成有掷刀；所述掷刀与第一组开关触点以及第二组开关触点的位置相对应；在开关腔体内施加驱动电场时，所述机械臂受到驱动电场作用而弯曲，使得掷刀接触第一组开关触点或第二组开关触点。本发明所述MEMS开关具有结构简单，反应灵敏，易于制造的特点。 | ||
| 搜索关键词： | mems 开关 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS开关，其特征在于，包括：半导体衬底；位于半导体衬底上的开关腔体，所述开关腔体包括底部介质层以及顶部介质层；位于所述底部介质层的第一组开关触点，包括第一输入触点以及第一输出触点；位于所述顶部介质层的第二组开关触点，包括第二输入触点以及第二输出触点；还包括机械臂，所述机械臂包括固定于开关腔体底部介质层上的固定端以及悬浮的自由端，所述自由端上形成有掷刀；所述掷刀与所述第一组开关触点以及第二组开关触点的位置相对应；在开关腔体内施加驱动电场时，所述机械臂受到驱动电场作用而弯曲，使得掷刀接触底部介质层将所述第一输入触点与第一输出触点电连接，或者接触顶部介质层将所述第二输入触点以及第二输出触点电连接。
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