[发明专利]用于含金属膜的第4族金属前体有效
| 申请号： | 201010521551.4 | 申请日： | 2010-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN102040620B | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | S·V·埃瓦诺夫;X·雷;H·程;D·P·斯佩斯;金武性 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | C07F7/28 | 分类号： | C07F7/28;C07F7/00;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈文平;尚继栋 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于含金属膜的第4族金属前体，特别是由以下通式表示的第4族金属前体：M(OR1)2(R2C(O)C(R3)C(O)OR1)2，其中M是第4族金属Ti、Zr或Hf；其中R1选自下组：直链或支链C1-10烷基和C6-12芳基，优选甲基、乙基或正丙基；R2选自下组：支链C3-10烷基，优选异丙基、叔丁基、仲丁基、异丁基或叔戊基，和C6-12芳基；R3选自下组：氢、C1-10烷基和C6-12芳基，优选氢。在本发明的优选实施方式中，该前体是液体或者熔点低于60℃的固体。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 金属膜 金属 | ||
【主权项】：
由以下通式表示的第4族金属前体：![]()
其中M是第4族金属，选自下组：Ti、Zr和Hf；其中R1选自下组：直链或支链C1‑10烷基；R2选自下组：支链C3‑10烷基；R3选自下组：氢和C1‑10烷基。
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