[发明专利]测量单元有效
| 申请号： | 201010281093.1 | 申请日： | 2010-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN102052988A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | H·格吕勒 | 申请（专利权）人： | VEGA格里沙贝两合公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 沈英莹 |
| 地址： | 德国沃*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测量单元，包括：基体(3)；测量膜片(5)；所述测量膜片设置在基体(3)上；测量装置，其具有第一测量元件(10)和第二测量元件(11)，其中第一测量元件(10)设置在测量膜片(5)上；其中设有中间膜片(7)，所述中间膜片设置在测量膜片(5)与基体(3)之间，并且在所述中间膜片上设置第二测量元件(11)。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 单元 | ||
【主权项】：
测量单元，包括：基体(3)，测量膜片(5)，所述测量膜片设置在基体(3)上，测量装置，所述测量装置具有第一测量元件(10)和第二测量元件(11)，其中第一测量元件(10)设置在测量膜片(5)上；其特征在于，设有中间膜片(7)，所述中间膜片设置在测量膜片(5)与基体(3)之间，并且在所述中间膜片上设置第二测量元件(11)。
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- 2014-11-05 - 2019-02-15 - G01L9/12
- 一种压力传感器，包括：第一基底(1)和附连到第一基底(1)的盖(4)。盖(4)包括处理电路(241)、腔室(41)以及可变形隔膜(42)，该隔膜隔离腔室(41)和通向压力传感器外界的开口。提供感应装置，其将可变形隔膜(42)对开口处的压力响应转换为信号，信号能够被处理电路(241)处理。盖(4)附连到第一基底(1)，可变形隔膜(42)面向第一基底(1)，且间隙(6)设置在可变形隔膜(42)和第一基底(1)之间，该间隙(6)有助于开口。第一基底(1)包括附连盖(4)的支承部分(7)、将压力传感器电连接到外部装置的接触部分(8)，以及用以从接触部分(8)中悬置出支承部分(7)的一个或多个悬置元件(9)。
- 电容式气压传感器-201811265396.7
- 于文秀;闫文明 - 歌尔股份有限公司
- 2018-10-26 - 2019-01-18 - G01L9/12
- 本发明公开一种电容式气压传感器，所述电容式气压传感器包括呈相对设置的第一极板和第二极板，所述第一极板设置为与外部空气接触的敏感膜，所述第二极板用于与产品载体安装；所述敏感膜的至少一表面的至少部分设置为微凹凸面。本发明电容式气压传感器，将敏感膜的至少一表面的至少部分设置为微凹凸面，微凹凸面的凹凸结构可缓冲敏感膜发生形变时产生的应力，使得敏感膜不易发生永久性形变或者碎裂，从而可保护敏感膜，进而可提高敏感膜和电容式气压传感器的耐破坏能力，增强敏感膜和电容式气压传感器的可靠、稳定性能。
- 具有内置校准能力的压力传感器-201410655567.2
- C·S·达沃森;P·T·琼斯 - 恩智浦美国有限公司
- 2014-11-18 - 2019-01-18 - G01L9/12
- 本发明涉及具有内置校准能力的压力传感器。MEMS压力传感器(70)包括传感单元(80)、测试单元(82)和密封结构(84)。所述测试单元包括测试腔(104)，并且所述密封结构(84)与所述测试腔相通，其中所述密封结构被配置为破裂以将位于所述测试腔(104)内的初始腔压力(51)改变至环境压力(26)。校准方法(180)包含在破裂所述密封结构之前从所述测试单元获得(184)测试信号(186)，并且在所述密封结构破裂之后获得(194)另一个测试信号(196)。所述测试信号被用于计算所述测试单元的灵敏度(200)，所计算的灵敏度被用于估计所述传感单元的所述灵敏度(204)并且所述估计的灵敏度(204)可以被用于校准所述传感单元。
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